各级无尘室尘埃粒子测量表

检测日期区域尘粒大小测试位1测试位2测试位3平均值(pc/立方英尺)符合等级测量结果判定测试人异常处理记录0.5µm5µm0.5µm5µm0.5µm5µm0.5µm5µm0.5µm5µm0.5µm5µm0.5µm5µm0.5µm5µm表单编号：F-QA-101等级说明：1.一般厂房洁凈度标准：每立方英尺空气中0.5微米及以上尘粒数≤708,215，每立方英尺空气中5微米及以上尘粒数≤56,657；每立方米空气中0.5微米及以上尘粒数≤25,000,000，每立方米空气中5微米及以上尘粒数≤2,000,000；2.无尘棚洁凈度标准：每立方英尺空气中0.5微米及以上尘粒数≤9,915，每立方英尺空气中5微米及以上尘粒数≤71；每立方米空气中0.5微米及以上尘粒数≤350,000，每立方米空气中5微米及以上尘粒数≤2,500；3.检测周期：一般厂房洁凈度：1次/月；无尘棚洁凈度：不低于1次/周；4.由于涉及测量过程的不确定性，一般要求用3个有效的数据来确定浓度等级水平.5.当洁净度达不到标准要求时，测量人员应分析不达标的原因，如因5S原因造成则通报区域主管全面做5S，如因厂房或出风口等原因造成则通知厂务处理，并将处理结果记录于表中。6.单位换算公式：1立方英尺=0.028立方米，1立方米=35.71立方英尺10000级≤35*10000≤2500≤9801≤70100000级≤35*100000≤25000≤98012≤700100级≤35*1000≤9801000级≤35*1000≤250≤980≤7XXXXXX科技有限公司无尘室尘粒测量表尘粒等级对照表小于或等于表中被考虑的粒径的最大浓度限值(pc/立方米)小于或等于表中被考虑的粒径的最大浓度限值(pc/立方英尺)0.5µm5µm0.5µm5µm