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本试卷共页第页一试题（每题10分）1什么是超精密加工？超精密加工的两个基本原则是什么？2超精密加工机床主轴设计的要求与设计原则是什么？主要采用何种材料及工艺过程，为什么？3画图说明扫描隧道显微镜工作的原理？4超精密加工主要控制的环境因素有哪些？说明对超精密车间如何控制粉尘环境。5工程陶瓷塑性区磨削的原理是什么？实现的基本条件如何？6画图说明ELID磨削的基本原理，实现该技术应保障的条件是什么？7画图说明磁力研磨的原理？设计一种在CA6140机床上实现内孔磁力研磨的方案图，并说明工作原理。8画图简要说明平面化学机械抛光的原理？9画图简要说明LIGA工艺的原理。10画图说明什么是柔性铰链，设计一种利用压电陶瓷驱动实现平面二维运动的工作台？二要求：（1）必须独立完成；（2）必须手写回答，回答问题要图文并貌；（3）按顺序回答；（4）封面写好学号与名字；（5）开卷考试。二〇一——二〇一学年第二学期《精密超精密加工技术》试卷班级或专业：研究生