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参数说明：Z(x,y)表示基于基准面的各数据点高度，在基准面上方为正，在基准面下方为负。1高度参数Sq：根均方高度𝑆𝑞=√1𝑀𝑁∑∑𝑍(𝑥,𝑦)2Sq相当于高度的标准偏差，是将Rq以面状展开后的结果。Ssk：偏斜度𝑆𝑠𝑘=1𝑆𝑞3√1𝑀𝑁∑∑𝑍(𝑥,𝑦)3通过Ssk可以判断粗糙度形状倾向：Ssk0：高度分布相对于平均面偏上。Ssk=0：高度分布相对于平均面对称存在。Ssk0：高度分布相对于平均面偏下。Sku：陡峭度𝑆𝑘𝑢=1𝑆𝑞4√1𝑀𝑁∑∑𝑍(𝑥,𝑦)4通过Sku可以判断粗糙度形状尖锐度：Sku3：高度分布较平缓。Sku=3：高度分布为正态分布。Sku3：高度分布针状般尖锐。Sp：最大峰高𝑆𝑝=𝑚𝑎𝑥(𝑍(𝑥,𝑦))Sv：最大谷深𝑆𝑣=|min(𝑍(𝑥,𝑦))|Sz：最大高度𝑆𝑧=𝑆𝑝+𝑆𝑣Sa：算术平均高度𝑆𝑎=1𝑀𝑁∑|𝑍(𝑥,𝑦)|2空间参数Sal：最小自相关长度𝑆𝑎𝑙=min(√𝑡𝑥2+𝑡𝑦2)自相关函数最快衰减到指定值s时的水平距离。如果不指明，使用ISO25178-3中的默认值s=0.2。Sal求出自相关最快衰减前的距离，可测定是否存在表面高度急剧变化的部位。Str：纹理方向比𝑆𝑡𝑟=min(√𝑡𝑥2+𝑡𝑦2)max(√𝑡𝑥2+𝑡𝑦2)自相关函数最快衰减至s时的距离与最慢衰减至s时的距离的比。Str采用0至1的结果，接近0时表示存在条纹，接近1时表示不依赖于方向。注意：Rmin和Rmax应在同一个连通域中计算。3混合参数Sdq：均方根斜率𝑆𝑑𝑞=√1𝑀𝑁∑∑(𝜕𝑧𝜕𝑥)2+(𝜕𝑧𝜕𝑦)2完全平坦表面Sdq=0。由45°倾斜成分构成的平面Sdq=1。Sdr：界面展开面积比𝑆𝑑𝑞=1𝑀𝑁∑∑(√1+(𝜕𝑧𝜕𝑥)2+(𝜕𝑧𝜕𝑦)2−1)表示定义区域的展开面积相对于定义区域的面积增大了多少。完全平坦表面Sdr=0。由45°倾斜成分构成的表面Sdr=0.414。(表面积增大了41.4%)4功能参数Smr(c)：负载面积率负载面积指某个高度c以上的区域面积。高度基于基准平面(基准平面h=0)。Smc(mr)：反向负载面积率满足负载面积率%p的高度c。Sk：中心部分的高度差中心部分的确定：取ΔMr=40%的负载曲线割线，从负载面积率0%向100%移动，梯度最小时作等价直线即可确定中心部分。中心部分表示初期磨损结束后与其他物体接触区域的高度。Spk：突出峰部高度突出峰部表示因初期磨损被削减的区域。Svk：突出谷部深度突出谷部表示表面所涂抹用于提高润滑性的液体所滞留的区域。Smr1：分离突出峰部与中心部的负载面积率Smr2：分离突出谷部与中心部的负载面积率5.形态参数Spd：峰顶点密度表示单位面积的顶点数量，值越大说明与其他物体的接触点数量越多。Spc：峰顶点的算术平均曲率表示峰顶点的主曲率平均值，值小说明与其他物体的接触点较圆润，反之则尖锐。S10z：10点区域高度表面最高的5个峰点高度平均值与最低的5个谷点高度平均值的和。𝑆10𝑧=𝑆5𝑝+𝑆5𝑧S5p：5点峰区域高度表面最高的5个峰点高度的平均值。S5z：5点谷区域高度表面最低的5个谷点高度的平均值。