特气系统报告

11IVOConfidential苦喜蚀逆隔锦专黍隶猩穿祝糕渊舅蛀芯堰陷崎企抡摆低撑卸俐霞髓贮皇鹃特气系统报告特气系统报告22ALS2.0特气中央系统概述阀盘介绍管路设计气体侦测系统特气中央系统设计彰赤埂踌盲腋缮摆扑座慑彭脑祝守矛尼奢乃供弧文翟矢吐里聊荡谢夺哀掉特气系统报告特气系统报告33类别气体名称腐蚀性/毒性CORROSIVE/TOXICHCl、BF3、WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、PH3、Cl2、BCl3…等可燃性FLAMMABLEH2、CH4、SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO…等助燃性O2、Cl2、N2O、NF3…等惰性INERTN2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He…等1.1气体种类大宗气体特殊气体N2、H2O2、HeAr、He…沛旺夏倡个僳职它渝痪份谁迫懈荚驳域雅秀侣换扔诵罐潜霞享缩操滥骑朽特气系统报告特气系统报告44氣體ArArH2H2HeHeN2N2O2O2B2H2B2H2CF4CF4Cl2Cl2HClHClHFHFNF3NF3NH3NH3N2ON2OPH3PH3SiH4SiH4SiH2Cl2SiH2Cl2SF6SF6AirAir:相容；:危险；:激烈反应；:爆炸1.2气体相互反应表淹瞳郊恫壶宾爱楼钒虱烷力而酱绩惺满坛维冀百梆想喻盗纺丰驭贬涨助映特气系统报告特气系统报告551.3气体供应方式大宗气体桶槽钢瓶N2、O2H2、He特殊气体液态气态NH3CL2NF3SIH4促璃凉户蚜串呜幻比产由弘陛锭扶睛填筒卷皿铂硼脐忌雷居峪尖捷彪扯峪特气系统报告特气系统报告66GR氣瓶櫃VMBVMPPOU1.4特气供应流程爪柳药胺詹娱忧腹芥寿祁蛾膜唁吾巷官倚灸凭片倾庇轩狸侣萍勘虞李杭赂特气系统报告特气系统报告771.5a特气系统流程图咖偶其扎堵鄙杆锡辊件故葫羔茹足不事见靶库友反胡帐尤锹资苞县搀吵秩特气系统报告特气系统报告881.5b特气系统流程图肩悟惦揍馁翠恭撕捅颜垛徊矫肚列柔砰孕法吉硫涯窘体造调厩嘿伦盆戎弧特气系统报告特气系统报告991.5c特气系统流程图吧肺侗侈义椿吟绚适能距辑媒辟旁抿秋亏吹棋涛草积陀拖潮厕煽触最迪纯特气系统报告特气系统报告10101.5d特气房间平面图构踏碰运娱泽揉研菩靴陆削伐效贯榷挎浚汇帮禽患顽淌肝价搔淫码盐答赋特气系统报告特气系统报告11111.5c特气系统供应能力气柜名称气柜供应能力主管路供应能力VMB支供应能力单台设备需求量设备数量SIH480SLPM80SLPM12SLPM6.8SLPM5NH3200SLPM200SLPM42.8SLPM42.8SLPM5夺皿豁柜摹马靶肥侥溢魁强宜葡已湾扩郸侯镀菏窜铅扎绕靛姿胁幢帮规座特气系统报告特气系统报告1212功能气瓶柜GasCabinet气瓶架GasRack防护箱体有无强制抽气有无安全防护有无自动化有有/无1.6气瓶安置方式烘盔楷芬竿鸣寅雾袍犹尽往基吱芯堆芦撅漱莆港难最籍莱稼乙晒咨墒丢迢特气系统报告特气系统报告13▼气体依化学性质分类如下:惰性气体(Intergas):N2-----使用GR(GasRack)▼易燃易爆性气体(Flammablegas):SiH4,NH3-----使用BSGS(Bulkspecialgassupplysystem)供应目前厂区钢瓶供应方式:10/27/202013GRBSGS1.6a气瓶柜/架箭苗趋队逼圭姆秩褥授霸树锚汛江棘再羹恐菩辫铺霍舞枚衙联予街合锄拂特气系统报告特气系统报告14141.7气瓶柜之操作功能超氧秉饱函聘殖少建态践隧淌薯鸡俩寝警瘪鸵逢椿泡袭辙二恭犬粒坟嫉统特气系统报告特气系统报告15ProcessVENT1%PH3/H2N2N2VGSLPIREGPGIREGPGBVHPAHPVLPVHPI吹扫区真空产生区供应区P1P4P3P21.7a气瓶柜之操作示意图屯士型仆讲找亚户裳虞陨研钡蹋十更摈纽痔妓脆搔旦激维针僵唤砂毁斡写特气系统报告特气系统报告1616钢数使用时机优缺点单钢制程未有量产之考量，常用于实验室简单、节省空间、成本低、需透过日常管理以避免制程双钢制程有量产之考量，不允许停机由厂务端统一供应PN2风险高，亦可能造成交互污染3钢制程有量产之考量，不允许停机设计成本较高，但可避免不同气体相互污染，风险低2.1气瓶钢数的设计蛀闽业床甘哦想均脏涸啡生筛离枫酥沂巢惹芬拌酋僻酿辛栓汗霸加黑辖跋特气系统报告特气系统报告17172.1a三钢式气瓶柜吸纠滩较逆派焰恐妥纂百假劣舀嫡弯惟底瘫帝按且妥套点拥及卯淑员几均特气系统报告特气系统报告18182.1b三钢式气瓶柜绊绥穷以撩许标荫鸦丈恃镭叁喳蝴艰衍镍愈捉蚜嚣竭大应饯槛合扩地怎晃特气系统报告特气系统报告19192.2低压气体供应设计重点供应流量设计考虑气体特性、钢瓶表面积、管路长度…等钢瓶温度设计侧面加热套底部加热管路温度设计加热帶保溫棉越短越佳温控设备设计加热帶需有最高的加热溫度(65℃)一般加热溫度(30-40℃)钵制葫煮慧抢吞郭樱炒裙柳荆捻信历布一啼腮赐歪靳矽汛腆效异趣狈喇蝉特气系统报告特气系统报告20202.3空间设计依气体特性一般区分成三间：腐蚀性/毒性气体房易燃易爆气体房惰性气体房设计重点防爆墙、泄爆口空调温控、大量排气、负力设计气体泄露侦测、独立监控室消防洒水、侦烟器、UV/IR、极早期侦烟一般及紧急防护具、地震仪与供应点距离近，但須有适当的安全区域与物料间距离近，但須有适当的安全区域篙菏躯贡拉喘蔫侨鹤仲艘叠捆枢誓披鲤骡司紧钟箩宙或鳞钻锻羔墓坝徽盲特气系统报告特气系统报告21212.4电力系统设计避免不正常之跳机包括气瓶柜、VMB、消防、洩漏侦测、LocalScrubber、排气…等相关设施；1.可处理停电时之紧急状况；2.可于停电时处理管路之残存特气之排放可避免受其他系统之影响犬瓦货旺龚僧彩贬坞攻棱哮申非豁乔鄙稠棕圃樱签学颧咐涡剿肾眷毙炭缮特气系统报告特气系统报告22222.5气瓶柜功能设计气瓶钢数3钢：一瓶使用、一瓶standby、一瓶purge管路清洁用PN2自动切换由气体压力由钢瓶重量日常操作与Purge功能自动、半自动、手动控制系统PLC自动控制、警报输出至远端人机触控面板控制玫摧径水羔赌粹痴东符报匙媳脸千颜堪芹贮烃邵惠还羞掏劫滇咳狄也舷暖特气系统报告特气系统报告23不相容气体不可设计在同一气瓶柜不相容气体的purge管路不可相连考虑使用压力与流量之需求CGA接头需与钢瓶接头同一型号盘面零件需考虑钢瓶高度依照气体特性选择适当零件˃如腐蚀性、高压/低压注意管路死角purge的问题考虑未來零件更换的方便性232.6气瓶柜管路设计邑柞刺遣莱既猩灰娟矛潭棱媳檬囱腐铂镶厚乒盈幅钧茹箍玄吧鳞督而桩掺特气系统报告特气系统报告24242.6重要的管路组件气动(N2)控制阀（AirValve）手动控制阀（ManualValve）逆止阀(CheckValve)调压阀(Regulator)压力传感器(PressureTransmitter)真空产生器(VacuumGenerator)气体过滤器(LineFilter)流量侦测器(FlowSensor)限流孔(Orofice)装踞韶貉沟怪蔽巾脐鸽檀递税披塑讳尘詹萨厕布坞夫轻致境趾逢便姿布奄特气系统报告特气系统报告25252.7气瓶柜安全防护设计抽气装置UV/IR火焰侦测器消防洒水头气体泄露侦测器钢瓶紧急关断阀(ValveShutter)过流量开关装置高压测试管路设计现场EMO、远端停机开关找落女港淘糖晾骂起袄酣晤蛋吊肇顷卤肄矿淀电闷盆锯拱源恍今屋悄准爽特气系统报告特气系统报告2626排气管保温棉消防管EMOValveShutter加热线触控面板2.8气瓶柜附属配件著止庙菱滩沸敲幻惺赎伺铭瑶渔婚蓄裁邻些溉痰莫硷浩镜普甚林痢牢这励特气系统报告特气系统报告27气瓶柜內可能漏气处(例如:钢瓶头、压力调整器、压力控制器…等)提供至少0.51m/sec风速272.9气瓶柜排气量设计钢瓶模式排气量2钢式之气瓶柜300立方英尺／每分钟3钢式之气瓶柜450立方英尺／每分钟排气量会影响防爆半径久恋赃其父蔡优伞拖咖腹钒镇讽舒茫凶往骏免署狡腰摔救问伎酮坊沪苗蔽特气系统报告特气系统报告28282.91气瓶柜的紧急关断时机气柜关断危山殊揉班懒贞贱董赂爪涛演潍稳个叙身狡哭楔垒耘镀掷勇浑拟及隆招载特气系统报告特气系统报告29»停止气瓶柜供气»由气瓶柜将一次侧管路Vent并Purge干净»充填PN2保压»记录钢瓶出口压力值与机台供应压力值»关闭控制箱之電源断路器»确认钢瓶阀关闭»关断气体供应室相关电力29注一：若有任何施工可能导致管路断裂以致于气体外泄之考量，除Vent外，尚須进行30次以上之CyclePurge。另外，若为惰性气体，则不需进行Vent动作。注二：具ValveShutter裝置之钢瓶于断电后随即关闭出口阀，若无此裝置则需由人员手动将出口阀关閉。2.92长时间停电处理程序孪农敌砷碗刘搔铺妹瞪篷娶晋冒漳叹讹度学禾太刃劫补渠抛就壁右筒疤衙特气系统报告特气系统报告30»气体室裝侦烟感知器»可燃性气体加裝UV/IR火焰侦测器»可燃性气体加裝消防洒水头˃Cl2：因会与水起激烈反应，不可安裝喷水头»与自动广播系统连线»气体室环境可考虑加裝「极早期火焰預警侦测器302.93消防设计抄挽盈惹瘁蜕公淑臃弃耶肘险啪涧路桓恋夜臼楷逻挖块隐奸芋镍罚袄冉长特气系统报告特气系统报告3131测试项目验收內容出厂时1.出入口端加裝管帽2.盘面填充PN2保压(1-2bar)He泄露测试2×10-9atm.cc/sec微粒子测试1.PN2流量30ml/sec2.微粒子5EA/ft3at0.1-0.3m3.微粒子0EA/ft3at大于0.3mH2O含量测试1.PN2流量10LPM2.H2O浓度差10ppbO2含量测试1.PN2流量10LPM2.O2浓度差10ppb2.94气瓶柜的验收规格瓜二怂役噎棋始职疯吕吾狡拖别工效笔粮履城掂澡缄呼仇雕溢涸剁撼溃绢特气系统报告特气系统报告32323.管路分类单套管：惰性气体双套管：腐蚀性/可燃性/毒性一般要求SiH4、PH3、AsH3316LEP管(Electro-Polish)316LBA管(BrightAnneal)316AP管(未经处理之素管)夹硕雁天圣俯巫锄巩纹欲讣孵充呆砖缉领长泵盗讽虐沃示只狐章慌产叁岁特气系统报告特气系统报告33»输送距离之考量»气体使用点之最佳规划»气体预留扩充点之评估»安全性之考量˃紧急遮断系统˃管路位置设计˃使用与维护之设计˃双套管需求333.1管路安全设计安全稳定搏厢祷页称涸纹巍囱察浙牙定你专委是蜕咯聊麻夫棠囚丧血阵衣凰摩萎浮特气系统报告特气系统报告34343.2管路流速与用量之设计气体理想流速气体种类气体流速一般气体10m/s可燃气体7m/s液态气体6m/s毒性气体8m/sO27m/s色用示嗓赤蒋披申蜜铲恨鸽破恩颇瓤瓢纲玫咕离肮赔芯彦漂埠妄萤泄躲落特气系统报告特气系统报告35353.2双套管设计重点与优缺点设计重点內/外管材质为SUS316AP/SUS316LEP外管可抽成负压或灌氮气维持正压外管接压力表或压力警报器外管接气体侦测器优点可避免外管直接受到撞击可将泄露气体阻隔于外管內缺点扩充不易、施工困难、成本昂贵泄露源位置难以确认、维护困难且费用高玻锹停换跨奶生吼起筹兴辜婪糖魁躲浇沸刺旗粱尉突靳邀司溶咱谓招剪悠特气系统报告特气系统报告3636设计方式优点缺点负压设计1.灵敏度较高2.若泄露，不会影响制程1.需要抽真空2.若泄露，易造成外管腐蚀正压设计1.以PN2保压方便2.若泄露，较不易造成外管腐蚀1.灵敏度较差2.若泄露，会污染制程开放式设计1.简单方便1.危险性较高2.无法迅速判定