激光干涉仪垂直度测量原理与方法

中图仪器激光干涉仪垂直度测量原理与方法激光干涉仪是一款功能强大的几何量检测仪器，可以测量线性定位、直线度、垂直度、平行度、角度等多个参数，很多朋友熟悉线性定位测量，但是对于垂直度测量却不太清楚，今天就给大家讲解如何进行垂直度测量。▲SJ6000激光干涉仪中图仪器、垂直度测量原理垂直度测量的主要采用同一个测量基准轴对两个标称正交坐标中的每一个轴测量直线度。对两个直线度测量值进行比较，算出两个轴之间的垂直度。共同的参考基准是直线度反射镜的光学基准轴。需要注意的是，两次测量直线度之间既不移动也不调整。两次直线度测量过程中至少一次用到光学直角尺，用于将激光光束调整到与待测轴垂直。垂直度误差＝光学直角尺误差－斜度θ1－斜度θ2。▲垂直度测量的光路原理构建图中图仪器、测量步骤和数据处理测量分两步：第一步测量其中一轴的直线度，其方法跟直线度测量一样；第二步测量另一轴的直线度，同样的方法；最后根据上述两个直线度测量结果，计算得到两轴之间的垂直度误差。3、垂直度测量用组件垂直度测量用到的激光干涉仪组件：垂直度测量配置主要由SJ6000激光干涉仪主机、短直线度镜组（或长直线度镜组）、垂直度镜组（含光学直角尺）、SJ6000激光干涉仪静态测量软件等组件构成。Z轴的垂直度测量需增添直线度附件。4、垂直度测量应用机床X/Y轴垂直度对准；坐标机上垂直轴和水平轴之间的垂直度测量。▲X/Y工作台的垂直度测量