Despatch烧结炉简介

Despatch烧结炉简介二期C班工艺李明2011-6-22◆烧结炉构造简介1.烧结炉结构布局2.热排和有机排3.烘干区4.烧结区5.冷却区6.烧结原理◆烧结炉操作说明1.操作界面说明2.烘干区气流量控制3.烧结区气流量控制目录Despatch烧结炉构造简介结构布局：Despatch烧结炉分为烘干区和烧结冷却区两个主要部分。依次为：烘干区有机排、热排、烘干一区至四区、冷凝管、热排、烧结一区至六区、有机排（5\6烧结区）、热排、水冷区、风冷区。烧结炉的烘干区和烧结区之间是断开的，有大概45cm，炉带上方有冷凝抽风管。快速热升温（≥150℃/sec）增强冷却性能（＞150℃/sec）炉腔内温度稳定性高（±2℃）软启动闭路温度控制增强的软件设置管理先进的用户图形操作界面主生产控制界面数据记录冗杂温度过高自动关机硅片阴影最小化设计可安全，简便地使用工作室与视线齐平的电子装置，易于维护Despatch烧结炉-特点在烧结炉的烘干区有一个有机排和热排，烘干区烧结区连接处有冷凝器,烧结区有3个热排(烧结入口处有一个热排,水冷风冷区有2个热排)，5\6烧结区2个有机排,热排使内部氛围与外界空气相隔绝。①热电偶：探测有机排内废气的温度。②有机排：烘干过程中产生的有害有机废气经过加热并点燃焚烧，然后再由外围设备抽走。热排和有机排烘干区共有8个腔体，每两个腔体组成一个温区，共4个温区。每个温区的上部有一个热电偶。每个腔体内上下各有一个进气口，缓缓向腔体内渗入压缩空气，即每个温区内上下各有两个进气口，上面两个进气口是相通的，可以控制气流量的大小，同样下面两个进气口也是相通的，也可以控制气流量的大小。每个腔体的上部有6个加热管，每个腔体的下部是有石棉围成的保温腔。①热电偶：每一个烘干区各有一个独立的热电偶对温度进行监控和测量。②压缩空气进气口：③烘干腔体下半部分：内部为石棉构成的空间，起保温作用④烘干腔体上半部分：内部为加热管烘干区烧结区烧结区共有6个腔室。每个腔室为一个温区。每个温区各有一个热电偶，对温度进行监控和测量。每个腔室的上下各有一个压缩空气进气口，每两个腔室的进气口是相联通的，即烧结1区和2区的上部进气口是相通的，并可以控制气流量的大小。同样，烧结1区和2区的下部进气口也是相通的，并可以控制气流量的大小。烧结3~6区的上部（下部）两个进气口也是相通的，并可以个独立控制气流量大小。①烧结炉废气排放口和集油盒：在烧结区前端和后端各有一个废气排放口，其中集油盒可以定期清洗一下，防止废油滴到电池片上。②压缩空气进气口③热电偶④烧结区加热管⑤烧结1区⑥烧结2区⑦烧结3区和4区⑧烧结5区和6区冷却区冷却区分为水冷区和风冷区。①水冷区是通过循环冷水，吸收电池片的热量②风冷区是用冷却的空气进一步降低电池片的温度。水冷区风冷区烧结曲线烧结原理采用一次烧结的共烧工艺，同时形成上下电极的欧姆接触。银浆、银铝浆、铝浆印刷过的硅片，经过烘干使有机溶剂完全挥发，膜层收缩成为固状物紧密粘附在硅片上。当电极金属材料和半导体硅加热达到共晶温度时，硅原子以一定的比例溶入到熔融的合金电极材料中。温度降低，系统冷却形成再结晶层，溶入到电极金属材料中的硅原子重新以固态形式结晶出来，在金属和晶体接触界面上生长出一层外延层，形成欧姆接触。烘干烧结风冷水冷烧结曲线烧结原理Despatch烧结工艺包括四个阶段：(1)有机物燃烧段，(2)预热段，(3)烧结段，(4)降温段。(1)有机物燃烧段：设定温度在100-350℃，设定温度过高，浆料中的有机物挥发速度过快，造成金属颗粒之间疏松，造成烧结后R电极和R接触过大；若温度设置过低，导致有机物燃烧不完全，引起以上问题。(2)预热段：设定温度在350-600℃，使背电场和背电极升高到一定温度。(3)烧结段：设定温度600以上，其决定了烧结过程中银硅合金，铝硅合金中金属原子的浓度，对正电极和背电场以及Rs，FF影响非常大。设定温度过高，会使正电极烧穿，设定温度过低，Isc和FF下降，Rs升高，EFF下降。烧结段是烧结的核心。烧结炉操作界面说明：1015141312116789345120181621719烧结炉操作•1.SystemStatus:Displayscurrentstateofheaters,conveyorandutilitiesorothersystemfunctions.(显示目前的加热,传送和功效的状态)•2.ENABLE/DISABLE:SwitchesTurnseparatesystemsON(ENABLE)orOFF(加热和传送还有功效可以单独控制)•3EXIT:PresstoexitCDFSystemOperation.Figure15showsExitdialogscreen.(退出当前的操作系统)•4UserInformation:Displaysdateandtime,UserIDandsecuritylevelofuse.(显示时间日期和用户的级别)•5LightTower:Status(灯的显示状态)Green,yellow,orredlightturnsONorOFFcorrespondingtolighttowerstatus:•Red—Alarmcondition•Yellow—Systemrequiresoperatorassistance•Green—Systemreadyorrunning烧结炉操作•6.RECIPEINUSE:Currentrecipeusedbysystem.(目前用的菜单系统)•7DataLogging:Presstomonitorprocessprofilesbychoosingdatatotrack.(历史的数据和图象)•8CHILLEDWATER/TEMPERATURE/SUPPLY/RETURNCurrentsupplyandreturntemperatures(Celsius).(冷却水的进出水温度)•9EXHAUST/PRESSURECurrentexhaustpressureinmmH2O(目前的水压)•10.SETUP:Presstoaccesssetupscreenandchangeorcreateuserprivileges.Availableonlywhenloggedinasasupervisor.(管理者可以进入的窗口)•11.LOGOUT:Presstologcurrentuserinorout.(登录者调离当前用户)•12.CALIBRATION:DisplayAnalogInput-OutputCalibrationscreen.(校对当前的输出和输入)烧结炉操作•13.PID:DisplayPIDLoopTuningandControlscreen.显示PID的控制•14.ALARMSTATUS:Displayalarmstatusscreen.(显示报警的状态)•15.SYSTEMPARAMETERS:Presstodisplaysystemsparameterscreenandsetthosevariablesthatremainconstantinallrecipes.(系统参数)•16THROUGHPUTCALCULATOR:Calculatewaferthroughputcapacity(refertoSection(硅片计算器)•17I/OACCESS:PresstodisplaytheI/OAccessscreen,whichprovidesirectaccesstotheI/Ocontrolmodules.(输入和输出控制)烧结炉操作•18.RecipeDirectory:Listofcurrentlyavailablerecipes.(列出了可以直接调用的程序)•19.MONITOR/RECIPETab:Identifiessectionscreentheuserisworkingon:eitherworkingwitharecipeormonitoringthecurrentsystem.(当前的菜单工作还是监视状态)•20.Dryer&FurnaceTemperatures:Comparecurrentactualtemperatures(inCelsius),setpointtemperaturesandcalculatesPIDCV(currentactualvaluecomparedtosetpointvalueasapercentageforeachrecipeprocessparameter).(当前的温度显示)(控制热区的模式使用的PID闭环温度控制或固定可控硅电源控制)烘干区气流量控制①②③④⑤⑥⑦⑧⑨⑩⑾⑿烘干区气流量控制①exitbaffle：出炉口处风帘流量②exitexhaust：出炉口处废气流量③zone4bottom：4区腔体内下部的压缩空气流量④dryerzone3BOT：3区腔体内下部的压缩空气流量⑤dryerzone2BOT：2区腔体内下部的压缩空气流量⑥dryerzone1BOT：1区腔体内下部的压缩空气流量⑦zone4top：4区腔体内上部的压缩空气流量⑧dryerzone3TOP：3区腔体内下部的压缩空气流量⑨dryerzone2TOP：2区腔体内下部的压缩空气流量⑩dryerzone1TOP：1区腔体内下部的压缩空气流量⑾entranceexhaust：进炉口处风帘流量⑿entrancebaffle：进炉口处风帘流量烧结区气流量控制①②③④⑤⑥⑦⑧⑨⑩烧结区气流量控制①entrancebaffle：进炉口处风帘流量②entranceexhaust：进炉口处风帘流量③firingzone1&2TOP：烧结1&2区上部气流量④firingzone3,4,5,6TOP：烧结3,4,5,6区上部气流量⑤firingzone1&2BOT：烧结1&2区下部气流量⑥firingzone3,4,5,6BOT：烧结3,4,5,6区下部气流量⑦exitexhaust：烧结区出口处废气流量⑧coolzone：冷却区气流量⑨exitbaffle：出炉口处风帘流量⑩冷却水流量不足之处请指正谢谢！