高分辨XRD测量及分析方法.ppt

HRXRD测量及分析方法ndsin2布拉格公式：衍射基本原理X射线衍射仪X射线衍射是一种无损的研究材料结构的方法，高分辨X射线衍射（HRXRD）非常适合研究单晶和外延膜等晶体取向很好的材料。探测器样品台Cu（Kα）源单色器HRXRD基本光路图XRD图解扫描模式Omega-scanOmega-2thetascanPhi-scanChi-scanRockingCurveScan(ω扫描)ω扫描，也称摇摆，就是探测器固定在2θ位置，样品在θ左右摇摆，这时候探测器前面不加狭缝，处于开口状态。θ-2θ扫描，也叫联动，就是样品和探测器都在转动，从衍射峰位可以确定样品的晶格常数，从而确定外延膜样品晶格的应变。这时，探测器前一般要狭缝。衍射峰的半高宽与薄膜的厚度、组分及应变的不均匀性有关。Omega-2theta(θ-2θ)扫描Phi-scanφ扫描：取与样品表面有一定夹角的晶面衍射，如六方ZnO的表面为(0001)，（1011）面与表面的夹角χ为61.60º，先将样品倾斜61.60º，然后样品绕表面法线旋转360º，是为φ扫描，可以观察（1011）面衍射的空间分布。极图极图：样品从0º-90º逐步倾斜，每一步倾斜，做φ扫描，一系列φ扫描的数据合起来作图，就可以得到极图。可以研究特定的衍射，即固定的θ-2θ，在空间两个方位（φ和χ）上的分布。六方晶系的（0001）标准极图（c/a=1.863）