Dessat-Desktop-STDF分析工具-使用手册

AENGINEERINGSTDFANALYSISTOOLDessatDesktop简介DessatDesktop–AEngineeringSTDFAnalysisToolDessatDesktop是一个半导体标准测试数据(STDF)工程即时分析软件。下面列出了DessatDesktop的主要分析功能。1.打开和解析二进制STDF文件，并能以表格的形式显示所有测试数据2.编辑二进制STDF文件的头信息3.计算所有测试项的统计特性(如均值，方差，过程能力CPK)4.用柏拉图(Pareto)的图表显示主要失效项5.创建常用统计分析图标(如直方图，趋势图，相关性分析图，箱图等)6.创建晶圆地图(WaferMap),包括文本形式和有颜色的网页形式7.STDF文件的拆分，合并和修复8.强大的分组功能可以让你在不同因素之间分析共性和相关性备注:STDF是半导体测试业界一种标准的测试数据格式目录DessatDesktop–AEngineeringSTDFAnalysisTool1.打开STDF文件•在解析之前编辑STDF文件列表•编辑MIR头信息2.开始解析•停止解析3.在DessatDesktop里面查看解析出来的数据•查看汇总信息•查看原始数据(每一个测试项的读数)•查看测试项的属性(上下限，单位等)4.创建统计分析图表Statisticalchartcreation•主要失效柏拉图(HardwareBin,SoftwareBin,Test)•直方图(可以在同一张图显示不同因素的分布)•趋势图(测试项读数在时域的变化趋势)•Scatterplot(显示两个不同测试项的相关性)•箱图(在数值域将不同因素之间的差异在同一张箱图上显示)•计算所有测试项的统计参数(均值，方差，过程能力)5.非常好用的功能•STDF修复•按照晶圆来拆分和合并STDF•从STDF导出文本的测试汇总信息•自定义的测试Bin报表•重建Bin信息(有些STDF文件没有Bin信息)6.晶圆地图(WaferMap)•HTML晶圆地图和文本晶圆地图•测试参数晶圆分布图•晶圆叠片图打开STDF文件DessatDesktop–AEngineeringSTDFAnalysisTool你可以在工具栏点击图标或者菜单栏Menu-File-OpenFiles来选择STDF文件打开在弹出的窗口里面你可以按住Ctrl键来选择多个文件文件选择窗PressCtrltoselectmultiplefiles编辑STDF文件列表DessatDesktop–AEngineeringSTDFAnalysisTool当你选中任何在列表内的STDF文件时，文件列表编辑工具就会被激活。你可以从列表中溢出文件，编辑批次号或者修改STDF文件头信息。LOT_ID单元格式唯一可以修改的，你可以按自己的意愿输入批次号，用来区分不同文件的用途和特性。在后面的统计分析中，你可以按照你输入的信息分组。双击任意一样的LOT_ID单元格,或者点击来修改文件的LOT_ID.点击从列表中删除当前选中的文件修改STDF头信息DessatDesktop–AEngineeringSTDFAnalysisTool在文件列表中双击你想要修改头信息的行,或者点击来调出头信息修改窗口。修改完后点击Submit按钮来保存你的修改到STDF文件备注:切换到第一个选项卡，选中你想要修改的文件，点击MIR图标开始和停止解析DessatDesktop–AEngineeringSTDFAnalysisTool在你选好STDF文件之后,点击来启动解析(软件会从二进制的STDF文件中读取数据并解析成自己的数据格式，并用表格显示出来).在解析过程中,你可以随时点击来停止解析(如果你需要的话).以表格形式展示测试汇总信息(Summary)DessatDesktop–AEngineeringSTDFAnalysisTool切换到Summary选项卡，你可以看到以表格形式展示的测试汇总信息，汇总的HardwareBin,SoftwareBin和测试项失效信息都按照工位(Site)分开显示的。(有些STDF文件里面不包含summary信息，这是你就需要通过重建工具来从原始数据中重新创建出汇总信息)表格形式展示测试原始数据(每个测试项的读数)DessatDesktop–AEngineeringSTDFAnalysisTool你可以切换到RawDataTable选项卡来查看测试原始数据.你可以点击和来隐藏和显示额为的列.你也可以通过切换程序名的下来框来切换原始数据表（不同程序的数据存储于不同的结构中)表格形式展示的测试项属性DessatDesktop–AEngineeringSTDFAnalysisToolTestlimitstable选项卡将展示所有测试项的所有属性(上下限，单位，测试项类型等）。不同程序的测试项属性也分开存储于不同结构中柏拉图–主要失效DessatDesktop–AEngineeringSTDFAnalysisTool柏拉图式一个非常重要的工具，可以让你一眼找到主要失效项.Hardwarebin,softwarebin和测试项柏拉图你可以根据不同因素来创建柏拉图进行相互对比(例如LOT_ID,SITE,TESTER_ID,etc)你可以自定义图形的大小，柏拉图柱子数目和颜色来创建出丰富多彩的图形直方图-统计分布DessatDesktop–AEngineeringSTDFAnalysisTool直方图是一个非常有用的统计分析图形，来显示测试项数值的分布情况1.点击“Select”来选择测试项,如果测试项选得太多，会导致长一点的分析时间2.测试项选择窗口支持数据的行筛选(PartID,Bin,Pass/Faill)和列筛选测试项选择窗分组因子图形自定义工具显示上下限柱子数量原始数据筛选:MIN-MAXIN-SPEC3-SIGMA4-SIGMA5-SIGMAR6-SIGMAR原始数据筛选DessatDesktop–AEngineeringSTDFAnalysisTool原始数据筛选功能可以让你剔除异常数据，防止这些异常数据对你的分析造成印象MIN-MAX:选择所有数据In-Spec:只选择上下限内的数据3-Sigma:选择3-Sigma范围内的数据……Min-MaxIn-Spec3-Sigma趋势图–数值在时域内的趋势DessatDesktop–AEngineeringSTDFAnalysisTool趋势图用来显示选定测试项的数据在时域里面的变化趋势，设置与直方图类似。如果你已经在做直方图时选择过测试项，则在做趋势图时就不需要重新选择测试项了，除非你关注的测试项有变化。散列图–显示两个不同测试项之间的相关性DessatDesktop–AEngineeringSTDFAnalysisTool散列图是一个强大的工具，用来帮你发现不同测试项之间的相关性设置同直方图类似，DessatDesktop会自动帮你制作选中的每两个测试项之间的散裂土Strongcorrelation箱图–一个强大的统计分析工具DessatDesktop–AEngineeringSTDFAnalysisTool箱图是一个常用的统计分析工具，可以把根据你的要求把不同因数的统计箱图在一张图上面显示出来，以便于你查看不同因素之间的差异显示箱图显示组均值保存图表DessatDesktop–AEngineeringSTDFAnalysisTool在你的分析中，在制作完相应的统计图表之后，只需要点击就可以保存图片到你的电脑本地盘的一个默认目录中，你只需要把你需要的图形挑选出来即可。(只用于所有图形分析，直方图,柏拉图,趋势图,散列图,箱图)默认图形保存目录晶圆地图(WaferMap)DessatDesktop–AEngineeringSTDFAnalysisTool只需要点击一次鼠标，DessatDesktop可以从STDF文件创建晶圆地图。.我们提供两种格式的晶圆地图，一种纯文本格式和HTML格式，HTML格式对于不同的bin可以显示不同的颜色，更加直观。在你成功解析STDF文件之后，点击就可以常见晶圆地图，DessatDesktop在晶圆地图创建完成之后会自动打开文件所在位置。晶圆地图保存目录在IE里面显示的HTML晶圆图纯文本晶圆地图可以保存为.mht格式，在其他电脑上查看测试项过程报告–每个测试项的统计属性DessatDesktop–AEngineeringSTDFAnalysisTool测试项过程报告时用来计算每个测试项的统计参数(均值，方差和CPK)你可以利用分组功能来按不同因素计算，只需要点击两次鼠标即可.这个工具在新品导入做跨机的时候非常有用.只需要点击就可以创建测试项过程报告，也可以切换到“TestCapabilityReport”选项卡然后点击“Create”按钮来创建.导出数据DessatDesktop–AEngineeringSTDFAnalysisTool在DessatDesktop中，所有你看到的以表格显示的数据都可以被导出到Excel.你可以直接选中所要的数据然后按“Ctrl+C”复制，再到Excel里面粘贴即可。你也可以点击将数据保存为.csv格式，然后用Excel打开。注意:在点击保存按钮之前，请先切换到相应的选项卡测试项过程报告Hbin汇总测试项属性参数原始读数数据重建测试结果汇总(Summary)DessatDesktop–AEngineeringSTDFAnalysisTool如果你的STDF文件里面不包含测试结果汇总信息，你将无法创建柏拉图，也无法再表格里面查看汇总信息，这是你可以通过DessatDesktop来重建summary信息-“RecoverSiteBinTool”.通过菜单Tool-RecoverSiteBin来调用他，然后你就可以获得测试结果汇总，也可以按照工位来做其他分析。测试参数晶圆分布图–ParametricMapDessatDesktop–AEngineeringSTDFAnalysisTool测试参数地图(ParametricMap)是一个芯片设计测试领域一个非常重要的工具，可以用来分析晶圆厂流程工艺的工具。点击按钮之后，在弹出的测试项选择窗体里选择你要分析的测试项，软件会生成所有你选择的测试项数值的晶圆分布图，然后保存到制定的目录。测试项选择窗在IE中显示的测试数值晶圆分布图晶圆叠片图–多片晶圆测试结果的叠加DessatDesktop–AEngineeringSTDFAnalysisTool晶圆叠片图也是晶圆测试领域的一个非常重要的分析工具，把多片晶圆测试结果叠加起来，可以检验是否在晶圆的某个区域有失效共性，可以用来分析晶圆厂的工艺。打开多片晶圆的STDF文件，解析完成后只需要点击就可以自动生成一个叠片的晶圆图，数值代表某个区域的失效次数。谢谢