电子制造中的绿色清洗技术

452009.08.第4期|DefenseManufacturingTechnology电子制造中的绿色清洗技术李永珍，任耀华，杜海文（中国电子科技集团公司第二研究所，山西太原030024）摘要：清洗工艺可保证产品的可靠性，同时由于节能减排的要求，绿色清洗技术变得更加重要。本文介绍了电子制造中几种先进的绿色清洗技术的原理及相关设备，包括离心清洗技术、等离子清洗技术、紫外光清洗技术和超临界二氧化碳清洗技术等，并对其应用范围和特点进行了分析。关键词：电子；绿色清洗；离心清洗；等离子清洗；紫外光清洗；超临界二氧化碳清洗GreencleaningtechnologyforelectronicmanufacturingLIYong-zhen，RENYao-hua，DUHai-wen（The2thResearchInstituteofCETC，Taiyuan030024，China）Abstract：Cleaningtechnologycanensuretheelectoronicproducts’reliability。Becauseofthedemandsofenergysavingandexhaustdecreasing,greencleaningtechnologybecomesmoreimportant.Thisarticleintroducessomeadvancedgreencleaningtechniquesandequipmentsusedinelectronicmanufacturing,includingcentrifugalcleaning，plasmacleaning，U-VrayscleaningandsupercriticalCO2cleaning，andanalysestheirapplicationscopeandcharacteristics.Keywords：electronic；greencleaning；centrifugalcleaning；plasmacleaning；U-Vrayscleaning；supercriticalCO2cleaning作者简介：[e-mail]引言ODS20071离心清洗技术ARTICLES学术论文46DefenseManufacturingTechnology|2009.08.第4期12MCMBGACSPSMT2等离子清洗技术40kHz13.56MHz2.45GHz图1离心清洗能量流动方向图2离心清洗设备结构示意图1-操作屏，2-离心旋转组件，3-夹具组件，4-提升组件，5-清洗缸，6-机架，7-循环槽，8-气体加热器，9-电控柜472009.08.第4期|DefenseManufacturingTechnology1234505PTFE15343紫外光清洗技术图3等离子清洗前后接触角对比图4等离子清洗设备结构示意图1-反应仓，2-骨架，3-供气系统，4-射频电源，5-真空系统，6-控制系统ARTICLES学术论文48DefenseManufacturingTechnology|2009.08.第4期ITO54超临界二氧化碳清洗技术74bar31100,5结语参考文献[1]..2005.[2]QUIRKMSERDAJ..2005.[3]..2005.[4]..2008850-52.图5紫外光清洗设备结构示意图1-反应仓，2-抽屉，3-紫外定时，4-启动，5-指示灯，6-紫外灯，7-整流器