电子探针和扫描电镜常用的标准方法电子探针和扫描电镜涉及的标准方法及技术规范共有25个,有电子探针仪检定规程(JJG901-95)、扫描电子显微镜试行检定规程(JJG550-88)、不同类型样品的定量分析方法、样品及标样的制备方法、微米长度的扫描电镜测量方法及X射线能谱成分定量分析方法等。各单位计量认证分析检测的项目,必须有相应的标准检测方法。要根据标准方法进行成分分析,要采用有效的国家标准。没有国家标准的检测项目,可以采用行业标准或地方标准。行业标准在相应的国家标准出台后自动作废,地方标准在相应的国家标准或行业标准出台后也自动作废。企业标准及检测机构按用户要求制定的检测条件和试验方法,只能作参考数据。当国家标准方法不能满足某些检测要求时,例如“方法通则”,可根据方法通则制定检测实施细则,经检验机构技术负责人批准后,可以实施。检测报告中必须有检测依据,即检测的标准方法。所以标准方法在认证过程中和检测过程中都是必须的。现在电子探针和扫描电镜的标准方法,还不能满足所有样品测试的要求,特别是能谱分析方法,但基本都有通则,可根据通则制定实施细则,以满足一般检测工作的需要。(1)GB/T4930-93电子探针分析标准样品通用技术条件(代替GB4930-85)(2)GB/T15074-94电子探针定量分析方法通则(3)GB/T15075-94电子探针分析仪的检测方法(4)GB/T15244-94玻璃的电子探针分析方法(5)GB/T15245-94稀土氧化物的电子探针定量分析方法(6)GB/T15246-94硫化物矿物的电子探针定量分析方法(7)GB/T15247-94碳钢和低合金钢中碳的电子探针定量分析方法(8)GB/T14593-93山羊绒、绵羊毛及其混合纤维定量分析方法(9)GB/T15617-95硅酸盐矿物的电子探针定量分析方法(10)GB/T15616-95金属及合金电子探针定量分析方法1(11)GB/T16594-94微米级长度的扫描电镜测量方法(12)GB/T17359-98电子探针和扫描电镜X射线能谱定量分析通则(13)GB/T17360-98钢中低含量Si、Mn的电子探针定量分析方法(14)GB/T17361-98沉积岩中自生粘土矿物扫描电子显微镜及X射线能谱鉴定方法(15)GB/T17632-98黄金饰品的扫描电镜X射线能谱分析方法(16)GB/T17363-98黄金制品的电子探针定量测定方法(17)GB/T17364-98黄金制品中金含量的无损定量分析方法(18)GB/T17365-98金属与合金电子探针定量分析样品的制备方法(19)GB/T17366-98矿物岩石的电子探针分析试样的制备方法(20)GB/T17506-98船舶黑色金属腐蚀层的电子探针分析方法(21)GB/T17507-98电子显微镜-X射线能谱分析生物薄标样通用技术条件(22)GB/T17722-99金覆盖层厚度的扫描电镜测量方法(23)GB/T17723-99黄金制品镀层成分的X射线能谱测量方法此外,还有以下一些其他标准可作参考,如:(24)分析型扫描电子显微镜检定规程(JJG011-1996)(25)纳米级长度的扫描电镜测量方法(国家标准讨论稿)(26)微束分析-扫描电镜-图像放大倍率校准导则(陈振宇编译)2