电子束蒸镀机使用手册

聖約翰科技大學精密儀器中心撰寫：辜誌良電子束蒸鍍機使用手冊操作前請於紀錄表示填入使用者資料、開始時間、結束時間文件編號：HB-008更新日期：2006/6/241聖約翰科技大學精密儀器中心撰寫：辜誌良ㄧ.設備介紹1.1控制箱開關POWER：總電源開關CONTROL：系統控制開關CV-6S：電子槍控制開關1.2真空計顯示高真空顯示低真空1.3溫度顯示器文件編號：HB-008更新日期：2006/6/242聖約翰科技大學精密儀器中心撰寫：辜誌良1.4膜厚控制器1.5微調手動控制器立即終止鍵(嚴禁使用)電流遞增鍵電流遞減鍵1.6電子槍控制器文件編號：HB-008更新日期：2006/6/243聖約翰科技大學精密儀器中心撰寫：辜誌良1.7CV-6S電源供應器二.開機程序將控制箱下方的【POWER】、【CONTROL】2個開關打開，接著再將觸控式人機界面操控器打開，此時觸控式人機界面操控器會出現開機畫面。2.1人機畫面2.1.1【CPSTANDBY】的程序按畫面右上方的【CPSTANDBY】，待此鍵閃綠色並按下【START】鍵會啟動RP，3秒後FV開啟，把CP內部抽到設定真空度G3亮燈，FV即關閉，自動執行壓力上升試驗5分鐘，當通過壓力上升試驗後，Cryopump自行啟動，等待Cryopump溫度降到15K以下，此時【READY】鍵燈會亮綠色，表示Cryopump已cooldown完成(cooldown完成時間需90-120分鐘)。文件編號：HB-008更新日期：2006/6/244聖約翰科技大學精密儀器中心撰寫：辜誌良2.1.2【MAINPUMPING】的程序接著按下【MAINPUMPING】鍵，待此鍵閃綠色後再按下【START】鍵，接著即會自行執行抽氣流程，直到高真空設定值G1燈亮起，此時【READY】燈會亮起，即完成MAINPUMPING的程序。2.1.3【ChamberVent】的程序當執行完畢MAINPUMPING的程序，即可執行腔體洩真空的動作，按下【ChamberVent】，待此鍵閃綠色後再按下【START】鍵，接著即會自動執行腔體洩氣的流程。直到『ATM』燈號亮起，此時Complete燈會亮起即完成腔體洩氣的動作。2.1.4【Cryopump】自動再生操作程序當Cryopump的溫度超過20K時，Error訊息會做動，即要執行Cryopump再生的動作，此時按下【REGEN】待此鍵閃綠色後再按下【START】鍵，接著即會自動執行Cryopump再生的流程。畫面右下角『SV』為設定再生流程的時間，再生設定方式為按一下【SV】旁邊的數字區域，即會彈出對話方框，輸入時間後按【ENTER】就完成時間的設定。畫面左下角『PV』為氣體通入的實際時間。regenerationTime跑完後，『Complete』燈亮起，即再生完成。2.1坩鍋旋轉與擋板開關1.坩鍋旋轉：點選介面上的【MANUAL】改為手動控制，從【POCKET1~4】選擇放置坩鍋之位置。2.檔板開關：點選介面上的【MANUAL】改為手動控制，點選【CH2】，此時此按鍵會亮起。(關閉再點選【CH2】即可)※註：CH2為下擋板CH1為上檔板三.蒸鍍程序3.1開啟CV-6S電源1.按下儀控箱【CV-6S】開關，開啟CV-6S電源供應器前端【MAINBREAKER】即可，此時電源供應器面板的指示燈『PWR』會亮起。2.將電子槍控制器上的鑰匙開關切至為【ON】，此時面板的指示燈『DOORS』會亮起。3.將左邊【ON】開關按鍵按下，此時高壓已開啟。4.確認電子槍控制器面板的指示燈『TANK』、『VAC』、『REM』、『H2O』、『POS』、『AUX』皆要亮起。4.將右邊【ON】開關按鍵按下，此時電子槍已開啟。文件編號：HB-008更新日期：2006/6/245聖約翰科技大學精密儀器中心撰寫：辜誌良文件編號：HB-008更新日期：2006/6/2463.2膜厚控制器設定NextMenuQuickSetupProcessMenuFilmMenuStartSystemParamsTHICKNESS(kA)0.000RATE(A/s)0.0POWER(%)0.0Process:MyProcess1Layer:1of1Film:AluminumRunTime:0:00:00FinalThick:0.200LayerRate:10.0Phase:StoppedPower(%vs.Time)100.050.00.00.012.525.037.550.0【FilmMenu】→【Film1】→【Edit】→【選擇Material】1.材料選單設定︰依實際需求設定參數（PressFilmMenu）2.製程選單設定︰依實際需求設定參數（PressProcessMenu）。3.系統參數設定︰依實際需求設定參數（PressSystemParams）。3.3蒸鍍1.使用微調手動控制器上的【】慢慢的增加發射電流，先將功率(％)加至為1％，讓電子束產生。2.使用微調手動控制器上的【】慢慢的增加發射電流，此時功率(％)會逐漸上升。3.開啟檔板後則開始蒸鍍(先開下擋板再開上擋板)。※註：1.功率需要慢慢增加，避免坩鍋噴濺。2.調整功率時，因會有遲至現象，請務必注意噴濺情況。3.如有發生噴濺情況，則立刻降低功率。3.4蒸鍍完成1.關閉擋板(先關上擋板再關下擋板)。2.藉由微調手動控制器上的【】將加速電流慢慢降低至「0％」。(嚴禁直接按【ABORT】件關閉)3.將右邊【OFF】開關按鍵按下，將電子槍關閉。4.等待高壓輸出顯示為「0KV」後，將左邊【OFF】開關按鍵按下，將高壓關閉。5.將電子槍控制器上的鑰匙開關切至為【OFF】，此時面板的指示燈『DOORS』會熄滅。6.將CV-6S電源供應器前端【MAINBREAKER】關閉，此時電源供應器面板的指示燈『PWR』會熄滅。聖約翰科技大學精密儀器中心撰寫：辜誌良7.下方控制箱的CV-6S開關，按下【OFF】。8.等待20~30分鐘腔體冷卻後，至人機畫面點選【CHAMBERVENT】鍵後再點選【START】破真空。9.小心開啟腔體，取出試片，及清潔腔體。10.小心關上槍体，至人機畫面點選【MAINPUMPING】鍵後再點選【START】抽真空。※注意事項※1.使用者須通過檢定才可使用。2.使用之前先詳讀本手冊，有助於操作此機器並可避免機器受到損害。3.人機畫面為接觸式介面，請勿以筆尖或尖銳物品操作。文件編號：HB-008更新日期：2006/6/247