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J78JB/T53021－1999真空镀膜设备产品质量分等（内部使用）1999-12-30发布2000-06-01实施国家机械工业局发布()I前言本标准是对JB/T53021—92《真空镀膜设备产品质量分等》进行的修订。此次修订，对其主要技术内容作了大的修改。本标准自实施之日起代替JB/T53021—92。本标准由全国真空技术标准化技术委员会提出并归口。本标准起草单位：沈阳真空技术研究所。本标准主要起草人：李玉英、李春影。本标准于1992年首次发布。JB/T53021－1999()11范围本标准规定了真空镀膜设备（以下简称产品）的质量等级、检验规则和评定方法。本标准适用于压力在10–4~10–3Pa范围的蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备产品。2引用标准下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准昀新版本的可能性。GB/T11164—1999真空镀膜设备通用技术条件3产品的质量等级3.1产品根据其质量水平和使用价值分为合格品、一等品和优等品。3.2产品的考核项目及指标a）各等级的产品均应满足GB/T11164—1999中4.3、4.4和4.5的要求；b）A类各等级的产品还应达到表1规定的各项相应指标，B类各等级的产品还应达到表2规定的各项相应指标。4检验规则和评定方法4.1抽样方法4.1.1检查批的组成在生产厂内经检验合格入库（或用户处）的产品构成检查批。检查批可以与投产批、销售批、运输批相同或不同，由同一规格型号或不同规格型号、同一质量等级、生产条件和生产时间基本相同的单台产品组成，但每个检查批的批量不得超过250台。当没有明确规定时，批的组成、批量大小以及识别批的方式等，应协商确定。4.1.2抽样方案采用一次抽样方案，每批样本数为2台，合格判定数为0。4.1.3样本的抽取样本应从检查批中随机抽取，抽样可在批构成之后或在批的构成过程中进行。4.2试验方法按GB/T11164—1999中第5章的规定。4.3评定方法国家机械工业局1999-12-30批准中华人民共和国机械行业标准真空镀膜设备产品质量分等（内部使用）JB/T53021－1999代替JB/T53021—922000-06-01实施JB/T53021－19992判定产品的质量等级，必须符合该等级全部考核项目的要求，否则按达到的昀低一项指标定等级。批的质量等级以2台样品中昀低等级判定。表1产品质量等级考核项目合格品一等品优等品极限压力Pa≤5×10–4≤3×10–4≤1×10–4抽气时间（105~7×10–3Pa）min≤20≤15≤10升压率Pa/h≤8×10–1≤3×10–1≤8×10–2淀积源型式、尺寸、数量、昀大耗电功率工件架尺寸及转动方式工件烘烤方式及烘烤温度离子轰击，工件偏压功率膜厚监控方式及控制精度设备控制方式设备昀大耗电量按设计要求表2产品质量等级考核项目合格品一等品优等品极限压力Pa≤5×10–3≤3×10–3≤1×10–3抽气时间（105~7×10–2Pa）min≤10≤8≤5升压率Pa/h≤2.5≤7×10–1≤2×10–1淀积源型式、尺寸、数量、昀大耗电功率工件架尺寸及转动方式工件烘烤方式及烘烤温度离子轰击，工件偏压功率膜厚监控方式及控制精度设备控制方式设备昀大耗电量按设计要求JB/T53021－1999中华人民共和国机械行业标准真空镀膜设备产品质量分等（内部使用）JB/T53021－1999*机械科学研究院出版发行机械科学研究院印刷（北京首体南路2号邮编100044）*开本880×12301/16印张1/2字数6,0002000年5月第一版2000年5月第一次印刷印数1－500定价10.00元编号99－1635机械工业标准服务网：