扫描电镜应用实例

扫描电镜应用实例材料形态研究材料尺寸大小分析材料表面元素分析材料表面失效分析材料形态研究亚麻纤维羊毛纤维材料形态研究羊毛处理前羊毛剥鳞处理后材料形态研究杜邦公司医用无纺布（正面）自制医用无纺布（正面）材料形态研究杜邦公司医用无纺布（反面）自制医用无纺布（反面）材料形态研究钢材硬度测试反光球尺寸统计材料尺寸大小分析材料形态研究膜厚度测试Fe3O4纳米线材料尺寸大小分析材料形态研究材料尺寸大小分析材料表面元素分析连续X射线产生K系特征谱线产生L系特征谱线产生K系特征谱线产生L系特征谱线产生K系特征谱线产生X特征谱线产生过程材料形态研究材料尺寸大小分析材料表面元素分析能谱原理材料形态研究材料尺寸大小分析材料表面元素分析材料形态研究材料尺寸大小分析材料表面元素分析1、在真空和电子束轰击下稳定2、试样分析面平、一般要求垂直于入射电子束3、试样尺寸大于X射线扩展范围4、有良好的导电和导热性能5、均质、无污染•无法满足上述要求的试样，定量结果准确度低能谱定量分析试样要求材料形态研究材料尺寸大小分析材料表面元素分析材料形态研究材料尺寸大小分析材料表面元素分析定量分析结果解读样品定量分析结果中常以质量百分比（wt％）和原子比（Atomic％）表示:Weight%-试样修正后的浓度App.Conc./Intensitycorn.=Weight%（所有元素结果可归一化）Atomic％：wt％÷分子量后归一化得到。所有元素的原子重量归一化定量分析结果解读在能谱中±1σ置信度：68.3%;±2σ置信度：95.4%;±3σ置信度：99.7%。1σ：元素可能存在；2σ：存在；3σ：大量存在。如果Weight%＝0.2wt.%,Sigma=0.12wt.%,则Weight%小于2σ，该元素不一定存在。如果试样中某种元素的2σ＝0.24wt.%,元素含量为0.2%,认为该元素不存在或小于0.1%。要证明该元素的存在，必须延长测量时间，这属于低于检测极限技术。材料形态研究材料尺寸大小分析材料表面元素分析材料形态研究材料尺寸大小分析材料表面元素分析材料表面失效分析1、线扫描的线高度代表元素含量，同种元素在相同条件下可以定性比较含量变化。2、因为不同元素产生的X射线产额不同，所以元素之间的峰高不能进行元素含量的比较。除非峰高度相差较大，可以定性比较。3、即使元素含量没有变化，沿扫描线的元素分布通常也不是一条直线，这是由于X射线计数统计涨落引起的。材料表面元素分析材料形态研究材料尺寸大小分析材料表面元素分析材料表面失效分析观察试样表面元素分布时（黑白或者彩色显示），元素含量高的区域，显示的白点多、亮度高，但本底噪音也会产生少量白点，无法和低含量元素区分。对低含量元素无法显示元素分布特征。元素面分布一般与相同部位的形貌像对照分析。由于面分布灵敏度低，面扫描往往采用大探针电流分析，特别对轻元素，如果探针电流小，特征X射线信号很弱，无法显示元素分布。材料表面元素分析材料表面失效分析thanks