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ICS29.220K83DB13河北省地方标准DB13/T1631—2012太阳能级多晶硅锭Thesolargradepolysiliconingot2012-09-28发布2012-10-15实施河北省质量技术监督局发布DB13/T1631—2012I前言本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。本标准起草单位：英利集团有限公司。本标准起草人:高艳杰、王爱军、王亮。DB13/T1631—20121太阳能级多晶硅锭1范围本标准规定了太阳能级多晶硅锭的产品质量等级、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存。本标准适用于太阳能级多晶硅锭。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T191包装储运图示标志GB/T1550非本征半导体材料导电类型测试方法GB/T14141硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定直排四探针法GB/T1553硅和锗体内少数载流子寿命测定光电导衰减法GB/T1557硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法GB/T1558硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法GB/T12963硅多晶GB/T14264半导体材料术语GB/T25074太阳能级多晶硅GB50034-2004建筑照明设计标准3定义GB/T14264界定的以及以下术语和定义适用于本文件。3.1多晶硅锭Thepolysiliconingot将多晶硅料进行掺杂，运用定向凝固法，经过高温生长的方形多晶硅锭。3.2粘锅Adhesioncrucible多晶硅料经过定向凝固出炉后，由于多晶硅锭与坩埚碎片的粘连，造成的多晶硅锭破损。3.3裂纹Crackle延伸到硅锭表面的解理或断裂，其或许没有穿过硅锭的整个高度或宽度。DB13/T1631—201223.4杂质堆积Impurityaccumulation运用定向凝固法生长的多晶硅锭，内部存在的氧化物、氮化物、碳化硅、金属沉淀等杂质团聚物或由于位错、堆垛层错等缺陷生成的微晶区域或生长中产生的裂纹、空洞等缺陷。3.5阴影比例Impurityshadowarearatio阴影比例指多晶硅锭按切割要求破块后，利用红外测试的方法观测硅块侧面，杂质堆积造成的阴影高度与有效切割高度的百分比。3.6硅锭出材率Siliconingotyield硅锭可切割成硅片用的部分重量与硅锭总重量的比值。4质量等级划分4.1质量等级分为优等品、一等品、二等品三个等级。5质量等级要求5.1外观外观要求见表1。表1外观要求项目优等品一等品二等品裂纹程度无裂纹现象存在不影响出材率的轻微裂纹现象。存在影响切割的裂纹现象，影响出材率不超过20%的程度。粘锅程度无粘锅现象存在不影响出材率的轻微粘锅现象。存在影响切割的粘锅现象，影响出材率不超过20%的程度。5.2氧碳含量氧碳含量要求见表2。表2氧碳含量要求项目优等品一等品二等品氧含量O/(atoms/cm³)O≤1.0×1018碳含量C/(atoms/cm³)C≤8.0×1017DB13/T1631—201235.3电学特性电学特性要求见表3。表3电学特性要求项目优等品一等品二等品导电类型全部符合要求顶部不符合要求，但不影响出材率。顶部不符合要求，影响出材率不超过10%的程度。电阻率ρ/(Ω·cm)1≤ρ≤1.50.7≤ρ＜1或1.5＜ρ≤20.5≤ρ＜0.7或2＜ρ≤4少子寿命τ/μsτ≥42≤τ＜41≤τ＜25.4杂质堆积程度杂质堆积程度要求见表4。表4杂质堆积程度要求项目优等品一等品二等品阴影比例δ/%≤55＜δ≤1010＜δ≤305.5出材率出材率要求见表5。表5出材率要求项目优等品一等品二等品出材率η/%η≥7470%≤η＜7465≤η＜706试验方法6.1外观检验6.1.1太阳能级多晶硅锭的裂纹程度采用目测法，需要时使用分度值为1mm的刻度尺进行测量。6.1.2太阳能级多晶硅锭的粘锅程度采用目视法，需要时使用分度值为1mm的刻度尺进行测量。6.2氧碳含量检测6.2.1氧含量的检验参照GB/T1557进行。6.2.2碳含量的检验参照GB/T1558进行。6.3电学特性检测6.3.1导电类型的检验参照GB/T1550进行。需要将硅锭去除边皮测试。6.3.2电阻率的检验参照GB/T14141进行。需要将硅锭去除边皮，在同一个晶粒内测试。DB13/T1631—201246.3.3少子寿命的检验参照GB/T1553进行。需要将硅锭去除顶部、底部、边皮测量，取平均值。6.4杂质堆积程度检测6.4.1阴影比例使用红外探伤仪进行检测。6.5出材率按测量结果进行理论计算。6.5.1凡涉及到“目视、目测”字样的条款，其检验的光照条件依据GB50034-2004中第5.3.1条通用房间或场所一般试验室或检验中的要求，即0.75m水平面，照度标准值为300Lx。6.5.2以上检测项目硅锭的顶部、底部、边皮部分按各去除20mm执行或计算，如有协议规定，按协议进行。6.5.3以上检验方法也可由供需双方商定。7检验规则7.1检验分类产品检验分为出厂检验和型式检验两类。7.2检验项目及要求7.2.1出厂检验检验项目为外观，要求产品100%检验。7.2.2型式检验检验项目为本标准规定的全部内容。有下列情况之一时，产品应进行型式检验：a)原料有较大改变，可能影响产品性能时；b)生产工艺有较大变动，可能影响产品性能时；c)长期停产重新恢复生产时；d)出厂检验结果与上次型式检验结果有较大差异时；e)质量监督机构提出进行型式检验的要求时。7.3判定规则全部项目检验结果符合标称等级质量要求，则判定该等级合格。8标志、包装、运输、贮存8.1标志8.1.1产品包装应标明以下内容：a)产品名称、产品规格、质量等级、数量及重量；b)执行标准编号及生产厂名、厂址；c)生产日期或批号、检验日期；DB13/T1631—20125d)附合格证明。8.1.2包装标识按GB/T191的要求，箱外侧应有“小心轻放”、“防潮”、“易碎”等字样或标志。8.2包装根据产品的实际尺寸、重量、包装数量等参数设计防震材料进行包装，并在内部附加必要的缓冲材料以提供足够的边缘保护，防止磕碰、震动等，特殊要求由供需双方协商。8.3运输在运输过程中不应有剧烈振动，应轻装轻卸，勿压勿挤，并采取防震措施。8.4贮存产品应贮存在清洁、干燥环境中。_________________________________