JC T 226-1981 QSG3 透明石英玻璃坩埚

第1页@筑龙网《QSG3透明石英玻璃坩埚》资料编号：JC/T226-1981@中华人民共和国建筑材料工业部标准JC/T226-1981QSG3透明石英玻璃坩埚实施发布第2页@筑龙网《QSG3透明石英玻璃坩埚》资料编号：JC/T226-1981@项次项次........................................................................................................2一、技术要求..........................................................................................4二、形状与规格尺寸...............................................................................6三、试验方法..........................................................................................7第3页@筑龙网《QSG3透明石英玻璃坩埚》资料编号：JC/T226-1981@本标准适用于半导体工业拉制单晶用的高纯透明石英玻璃坩埚。本坩埚采用天然石英熔制成坯体，并在其内表面涂一层高纯人造石英玻璃层。第4页@筑龙网《QSG3透明石英玻璃坩埚》资料编号：JC/T226-1981@一、技术要求1．物理、化学性能指标（1）化学成分a．内涂层化学成分铝、钙、镁、钛、铜、铁、钻，镍、锰、硼、钾、钠、理十三个杂质元素的总含量不得大于0．001％。其中：铝≤5×l0[-4]％；铜≤0．l×l0[-4]％；铁≤0．5×l0[-4]％；硼≤0．1×l0[-4]％；钾≤1×l0[-4]％；钠≤1×10[-4]％。b．坩埚坯体化学成分铝、钙、镁、钛、铜、铁、钴、镍、锰、硼、钾、钠、锂十三个杂质元素的总含量不得大于0．01％。其中：铝≤60×10[-4]％；铜≤0．1×l0[-4]％；铁≤5×l0[-4]％；硼≤0．3×l0[-4]％；钾≤4×l0[-4]％；钠≤4×l0[-4]％。（2）热稳定性试样在1100℃至20℃温度急变下试验三次，不产生裂纹。（3）抗结晶性试样在1200℃温度下恒温半小时，不允许出现直径大于3毫米的析晶白点，0．5～3毫米的析晶白点，每100平方厘米不得超过10个。（4）涂层厚度应均匀，折合重量应符合表1规定。表1外径D涂层重量外径D涂层重量毫米克毫米克803.01064.5903.51145.51004.01307.02．外观指标第5页@筑龙网《QSG3透明石英玻璃坩埚》资料编号：JC/T226-1981@(1)坩埚坯体部分（见表２）。项目气直径弧度部分0.3-0.4毫米直线部分0.3-0.7泡允许数量（个/厘米[2]）≤6暗长径弧度部分1-4毫米直线部分2-4疤允许数量（条/100厘米[2]）≤4色丝状长径（毫米）0.2-1.5点状直径（毫米）0.2-0.8斑允许总数（个/100厘米[2]）≤4透明颗粒允许数量（个/100厘米2）≤30波纹（毫米）≤0.3注：①缺陷宽度小于点状下限的按丝状计。②非圆形缺陷的直径均按算术平均值计。(2)坩埚口部不得有缺口，不得有深、宽大于4毫米的表皮崩落。(3)坩埚内表面不允许有色斑沾污和析晶。(4)坩埚内表面涂层上每100平方厘米中允许透明颗粒（直径在0.5-0.7毫米）为10个。第6页@筑龙网《QSG3透明石英玻璃坩埚》资料编号：JC/T226-1981@二、形状与规格尺寸3．半导体用透明石英玻璃坩埚的形状与规格尺寸应符合下图及表３规定。表３外径高度底半径厚度范围同一横截面的厚度公差DHR80+0.660±2D-12.0±0.50.3-0.9───290+0.670±2D-22.0±0.50.3-0.9───2100+0.680±3D-22.3±0.50.3-1.1───2106+0.690±3D-22.3±0.50.3-1.1───2114+0.675±3D-22.3±0.50.3-1.1───2130+0.6110±3D-22.5±0.50.4-1.6───2第7页@筑龙网《QSG3透明石英玻璃坩埚》资料编号：JC/T226-1981@三、试验方法4．化学成分按JC1866－81《石英玻璃原料及制品中微量杂质元素的分析方法》中的规定进行。5．热稳定性按JC187－73《石英玻璃热稳定性检验方法》中的规定进行。6．抗结晶性按JC188－73《石英玻璃抗结晶性检验方法》中的规定进行。7．气泡按JC190－81《透明石英玻璃气泡、气线检验方法》中的规定进行。