操作SEM的实验步骤

操作SEM的实验步骤一、SEM表面形貌的拍摄1、装样。2、抽真空，真空达到5*10-3Pa。3点击，开始测试。4、调电压，18-20kv,进行点扫描时电压一定要达到20kv。5、调节对比度和亮度。6、调节放大倍数→找点、快速扫描（300us）→慢速扫描（30ns）→暂停7、file→saveas→EDSdate即可。注：高倍下调节清晰度。二、SEM点扫描1、Point&ID。2、试样描述→元素+配置文件→书写已知的元素。3、采集图像→开始→是→调节对比度和亮度。4、采集图谱。5、报告结果。6、保存至→计算机→Date(D:)→EDSdate。采集图谱时应该注意：①消除噪声。②变换质量/原子（%）。③打点：注意切换，以节省时间。④测能谱仪时电压为20kv。⑤调节像散：shift+（+/-/左/右）。⑥图像转动：shift+F12。⑦页面最大化：F5。三、卸真空，取样步骤：1、降低放大倍数。2、降低电压至500V。3、点击Beamon，使之变色。4、点击vent。5、颜色变深。6、取样。