超高分辨率场发射扫描电子显微镜JSM-7800F介绍

Copyright(C)JEOLLtd.,AllRightsReserved.超高分解能FE-SEMJSM-7800Fのご紹介JEOLSEMapplicationteam超高分辨率FE——マスタタイトルの書式設定超高分辨率场发射扫描电子显微镜JSM-7800F介绍Copyright(C)JEOLLtd.,AllRightsReserved.2JSM-7800F的特长Point.2超级混合式物镜:SHL①超高分辨率(1.2nm＠1kV➡选配功能0.8nm@1kV）②最适合于观察磁性材料和EBSD分析(样品附近没有磁场泄漏)Point.1浸没式肖特基电子枪大电流(200nA15kV)、长时间稳定、长寿命(发射体保证3年)Point.3用新型探测器过滤电子能量自由选择来自样品表面的信息Copyright(C)JEOLLtd.,AllRightsReserved.3JSM-7800F的特长Point.2超级混合式物镜:SHL①超高分辨率(1.2nm＠1kV➡选配功能0.8nm@1kV）②最适合于观察磁性材料和EBSD分析(样品附近没有磁场泄漏)Point.1浸没式肖特基电子枪大电流(200nA15kV)、长时间稳定、长寿命(发射体保证3年)Point.3用新型探测器过滤电子能量自由选择来自样品表面的信息Point.1浸没式肖特基电子枪大电流(200nA15kV)、长时间稳定、长寿命(发射体保证3年)Copyright(C)JEOLLtd.,AllRightsReserved.4电子枪和聚光镜一体化能高效利用电子枪发出的电子传统的电子枪浸没式肖特基电子枪浸没式肖特基场发射电子枪电子枪透镜磁场聚光镜电子束电流量约10倍Copyright(C)JEOLLtd.,AllRightsReserved.电子枪和聚光镜一体化能高效利用电子枪发出的电子传统的电子枪浸没式肖特基电子枪电子枪透镜磁场聚光镜电子束电流量约10倍5浸没式肖特基场发射电子枪能高效率地利用电子束长寿命的发射体保证3年JEOLOnly探针电流是传统型的10倍以上因此最适合于EDS分析等JEOLOnlyCopyright(C)JEOLLtd.,AllRightsReserved.6用浸没式肖特基场发射电子枪进行快速分析１.可进行高通量的EDS分析２.可进行高空间分辨率的EDS分析〈应用实例〉Copyright(C)JEOLLtd.,AllRightsReserved.7应用实例1.高通量的EDS分析测试时间60秒（实时）JEOLOnly彩色面分布样品:贴片电容截面测试倍率：x10,000加速电压：5kV探针电流：50nA用定性图谱的测试时间可进行元素面分布用低加速电压可在短时间内进行高空间分辨率的元素面分布测试Copyright(C)JEOLLtd.,AllRightsReserved.8应用实例2.高空间分辨率的EDS分析样品：IC截面定量面分布(重量%)测试倍率：x22,000加速电压：6kV探针电流：8nA能将N和Ti分离获取元素面分布图Copyright(C)JEOLLtd.,AllRightsReserved.9应用实例2.高空间分辨率的EDS分析样品：IC截面定量面分布(重量%)测试倍率：x22,000加速电压：6kV探针电流：8nA能将N和Ti分离获取元素面分布图减少电流量提高空间分辨率，能进行100纳米级清晰的面分布测试。能获得数百纳米的细微结构的彩色面分布图Copyright(C)JEOLLtd.,AllRightsReserved.10JSM-7800F的特长Point.2超级混合式物镜:SHL①超高分辨率(1kV1.2nm➡选配功能0.8nm@1kV）②最适合于磁性材料的观察和EBSD分析(样品附近没有磁场)Point.1浸没式肖特基场发射电子枪大电流(200nA15kV)、长时间稳定、长寿命(发射体保证3年)Point.3用新型探测器过滤电子能量自由选择来自样品表面的信息Point.2超级混合式物镜:SHL①超高分辨率(1kV1.2nm➡选配功能0.8nm@1kV）②最适合于磁性材料的观察和EBSD分析(样品附近没有磁场)Copyright(C)JEOLLtd.,AllRightsReserved.11超级混合式物镜(SHL)Semi-in-lens物镜Out-lens物镜超级混合式物镜SHL集中了semi-in-lens和out-lens两者的长处是JEOL独自研发的新型卓越透镜Copyright(C)JEOLLtd.,AllRightsReserved.Semi-in-lens物镜Out-lens物镜12Semi-in-lens和Out-lens的不同和特长透镜磁场工作距离短擅长高分辨率观察工作距离长擅长观察磁性材料和EBSD分析工作距离短透镜磁场工作距离长超级混合式物镜①超高分解率观察②最适合于磁性材料的观察和EBSD分析Copyright(C)JEOLLtd.,AllRightsReserved.13稳定度・重现性观察绝缘体观察磁性材料EBSDEDS/WDS低倍率观察低加速分辨率高加速分辨率semi-in-lensout-lens稳定度・重现性观察绝缘体观察磁性材料EBSDEDS/WDS低倍率观察低加速分辨率高加速分辨率semi-in-lens物镜和out-lens物镜的功能评估Copyright(C)JEOLLtd.,AllRightsReserved.稳定度・重现性观察绝缘体观察磁性材料EBSDEDS/WDS低倍率观察低加速分辨率高加速分辨率semi-in-lensout-lens稳定度・重现性观察绝缘体观察磁性材料EBSDEDS/WDS低倍率观察低加速分辨率高加速分辨率14超级混合式物镜(SHL)的功能评估稳定度・重现性观察绝缘体观察磁性材料EBSDEDS/WDS低倍率观察低加速分辨率高加速分辨率超级混合式物镜Copyright(C)JEOLLtd.,AllRightsReserved.1515SHL①超高分辨率观察1.碳上的镀金颗粒2.石墨烯3.锂离子电池的隔膜4.蓝光光盘〈应用实例〉Copyright(C)JEOLLtd.,AllRightsReserved.16极低加速电压图像80VJSM-7800在80V的电压下也能观察高品质的图像通过观察样品表面可以进行纳米结构的分析应用实例1.碳上的镀金颗粒8万倍12万倍JEOLOnlyCopyright(C)JEOLLtd.,AllRightsReserved.17在高加速电压下呈“透明”状的样品也能观察其表面应用实例2.石墨烯极低加速电压图像80VCopyright(C)JEOLLtd.,AllRightsReserved.18应用实例3.锂离子电池的隔膜加速电压100VCopyright(C)JEOLLtd.,AllRightsReserved.19应用实例4.蓝色光盘(记录层)背散射电子为主加速电压：1.5kV工作距离(WD)：2mm过滤器电压：-1400V探测器：UEDCopyright(C)JEOLLtd.,AllRightsReserved.2020SHL②最适合于磁性材料和EBSD分析的电子光学设计1.磁性材料分析：Fe3O4纳米颗粒集合体2.EBSD晶体取向分析：钕铁硼3.EBSD晶体取向分析：碳钢〈应用实例〉Copyright(C)JEOLLtd.,AllRightsReserved.21应用实例1.Fe3O4纳米颗粒集合体加速电压:1.0keV(GB)WD:4.0mm资料提供:日本东北大学多元物质科学研究所阿尻雅文教授富樫贵成博士Copyright(C)JEOLLtd.,AllRightsReserved.22EBSD高精度晶体取向分析应用实例2.钕铁硼NDTD也适合于磁性材料的高精度晶体取向分析分析点:118585尺寸:XMax:80.00μmYMax:79.89μm步长:0.25μm相:Nd2Fe14BCopyright(C)JEOLLtd.,AllRightsReserved.23应用实例3.碳钢EBSD图像1000倍ND方向图像1000倍IQ（图像质量）图像也适合于磁性材料的高精度晶体取向分析加速电压：20kVWD：20mm探针电流：8nA100nm步长样品：碳钢（S25C）直径：32mm高度：20mm样品制备：金刚石砂轮研磨、胶体二氧化硅抛光Copyright(C)JEOLLtd.,AllRightsReserved.24利用LDF（LargeDepthofFocusmode）模式可以大角度地倾斜观察，最适合于EBSD分析。在倾斜７０°的样品上容易聚焦加速电压：15.0kVLDF模式LargeDepthofFocusJEOLOnlyCopyright(C)JEOLLtd.,AllRightsReserved.25LDF模式的大面积EBSD分析3cm分析区域：7mm×21mm倍率：×12样品倾斜：70°分析点：803400尺寸:XMax：7305.00μmYMax：21395.16μm步长：15.00μm不用移动样品台也能进行大面积的EBSD分析IQNDRDTDCopyright(C)JEOLLtd.,AllRightsReserved.26Point.2超级混合式物镜:SHL①超高分辨率(1.2nm＠1kV➡选配功能0.8nm@1kV）②最适合于观察磁性材料和EBSD分析(样品附近没有磁场泄漏)Point.1浸没式肖特基场发射电子枪大电流(200nA15kV)、长时间稳定、长寿命(发射体保证3年)Point.3用新型探测器过滤电子能量自由选择来自样品表面的信息JSM-7800F的特长Point.3用新型探测器过滤电子能量自由选择来自样品表面的信息Copyright(C)JEOLLtd.,AllRightsReserved.27新型探测器系统光阑角度控制透镜能量过滤器超级混合式物镜观察样品UED高位探测器USD高位二次电子探测器BED可插拔式背散射电子探测器LED低位探测器Copyright(C)JEOLLtd.,AllRightsReserved.28通过新型探测器检测样品样品：碳上的镀金颗粒加速电压：3.0kVWD：2.5mmCopyright(C)JEOLLtd.,AllRightsReserved.29通过新型探测器检测信号能量过滤器UED高位探测器过滤器电压：-360V信号二次电子表面形貌成分信息晶体取向大角度背散射电子由过滤器选择Copyright(C)JEOLLtd.,AllRightsReserved.30信号二次电子表面形貌边缘效应信息USD高位二次电子探测器通过新型探测器检测信号Copyright(C)JEOLLtd.,AllRightsReserved.31LED低位探测器信号短WD:背散射电子为主信息表面形貌长WD:二次电子和极低角度背散射电子混合通过新型探测器检测信号Copyright(C)JEOLLtd.,AllRightsReserved.32BED可插拔式背散射电子探测器信号成分形貌信息晶体取向背散射电子通过新型探测器检测信号Copyright(C)JEOLLtd.,AllRightsReserved.33可以同时观察获取四种画像USDBEDLEDUED过滤器电压：-360V同时进行观察的实例Copyright(C)JEOLLtd.,AllRightsReserved.34用新型探测器选择信息1.催化剂：Au@TiO22.石墨烯〈应用实例〉Copyright(C)JEOLLtd.,AllRightsReserved.35UEDUSD1.催化剂：Au@TiO2资料提供：F.Schüth教授Max-Planck-InstitutMülheim过滤器电压:-0.5kV加速电压:2.0kV金颗粒UEDUSDCopyright(C)JEOLLtd.,AllRightsReserved.362.石墨烯过滤器电压:-0.3kV加速电压:0.5kVUEDUSDUEDUSD空隙最薄处空隙Copyright(C)JEOLLtd.,AllRig