真空镀膜机的电气控制系统

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真空镀膜机的电气控制系统2目录34设计任务系统整体设计方案及具体方法1真空镀膜的优点总结一、真空镀膜的优点真空蒸发式镀膜的优点比化学镀膜多的多,主要有:1、真空镀膜不会损坏薄膜材料;2、镀制出来的成品寿命比化学镀膜多出好几倍。3、可以镀制各类金属或者非金属的材质,种类丰富;4、镀膜过程都是在真空环境下,出现较少的杂质,环境污染小;5、符合当代绿色发展的要求。二、设计任务本控制系统主控单元采用PLC通过上位机设置对纸张力、电机速度、蒸发舟的状态和蒸发量等工艺要求参数的控制。实现以下几个主要功能:1、PLC能与上位机进行通信,接受上位机参数的设置;2、进行机械联动及电机转速检测控制;3、进行张力的自动控制,找出影响张力的物理因素;4、对蒸发舟的状态检测和控制,也就转化为对镀膜厚度的自动控制;5、具有对变频控制器输入控制。三、真空镀膜机的整体方案设计1、镀膜系统是用于完成基材镀膜的地方;2、真空系统主要是为镀膜部分制造一个高真空的环境,为得到良好的蒸镀效果;3、电气控制系统主要来控制真空室中机械泵、扩散泵等的启停、相应阀门的开关量以及相应泵的指示灯和故障告警等,它是真空镀膜机的一个重要环节;4、卷绕系统主要负责放膜、镀膜、收膜,它是和镀膜室是相结合工作的,其中也包括对送丝机构的设计。N告警NY告警告警NNY检查接通水、电、气正常,无报警触摸屏与控制面板均选择手动手动开维持泵和机械泵,开旁路阀,开预抽阀给扩散炉加热40分钟前级真空度≤9.9Pa关旁路阀,开罗茨泵,继续抽真空前级真空度≤4PaY关预抽阀,开前级泵,开高阀通过扩散泵抽真空前级真空度≤0.01PaY启动卷绕系统启动送丝系统开强电流使铝丝蒸发对工件镀膜蒸镀Y停卷绕系统停卷绕系统停步进电机关前级阀,关高阀,开充气阀关扩散泵和镀膜室门开启机械泵和预抽阀对镀膜室抽低真空关机械泵和预抽阀,待扩散泵冷却,关复合计和维持泵新一轮镀膜工艺开始工艺流程图真空系统对镀膜室抽真空是整个系统设计的关键环节,选取性能良好的真空泵对蒸镀效果起着重要作用。在本设计中,采用的是从抽粗真空到高真空的过程,并采用了前级泵(机械泵)和低真空泵(罗茨泵),这样达到的真空能满足设计的要求。选型如下表所示。名称机械泵1机械泵2罗茨泵扩散泵维持泵型号2X-70A2X-70AZJP-600K-8002X-15功率5.5KW5.5KW7.5KW8.4KW2.2KW真空度的测量由热偶规管和电离规管组成的复合真空计完成,将测量到的实时数据首先会传到PLC的数字/模拟量转换模块,采用PLC的CMP指令,当达到设定的值,自动跳转执行命令(控制真空泵的启停)。真空系统蒸发镀膜系统及卷绕系统整个卷绕张力系统由收卷辊、放卷辊、张力检测辊、弹簧辊、导辊、压辊、冷却辊(主辊)、收卷跟踪机构等组成。卷绕系统各导辊的布置详见下图1.放卷辊2.收卷辊3.卷径跟踪辊4.展平辊5.导辊6.张力检测辊7.压辊8.冷却辊(主辊)9.弹簧棍10.蒸发坩埚11.送铝丝机构蒸发镀膜系统及卷绕系统整个镀膜过程如下:镀材由放卷辊放出,铝丝由送丝机构送出,镀材经过冷却辊,铝丝经过蒸发薄膜沉积在镀材上,然后由收卷辊将镀好的薄膜送出。放膜系统的张力控制收膜系统的张力控制送丝机构的设计蒸发系统的送铝丝机构可前后移动,使铝丝在蒸发舟中前后移动,不但提高了蒸发量,而且还可以延长蒸发舟的使用寿命。蒸发系统的蒸发舟采用氮化硼电阻式蒸发坩埚,具有电阻小、寿命长等优点。电阻蒸发采用单向可控硅交流压。步进电机的连接图电气控制系统AODODI图3.1控制系统结构图三菱触摸屏CPURS232/485I/O接口真空蒸发镀膜机三菱PLC人机界面PLC的数字量输入/输出PLC的模拟量输入/输出四、总结以上是我的所有设计,基本上达到了预期的要求。

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