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PTH线操作手册目录一、目范畴二、工艺流程三、PTH设备规格表四、PTH程序图及各缸时间范畴五、操作程序5.1开缸程序5.2工艺控制5.3生产操作和维护5.4PTH线停产解决办法5.5PTH线生产异常解决办法5.6沉铜效果检测六、PTH线常用问题及解决办法七、背光级数图八、附录1、PTH线操作控制表2、PTH线设备检测一览表一、目规范整孔剂DS-122双水洗微蚀HSO+HO2422微蚀HSO+SPS24双水洗酸浸HSO24双水洗预浸DS-133活化DS-140双水洗加速DS-155双水洗沉铜DS-166双水洗规范PTH线流程，提供PTH线工艺控制参数和操作办法，指引生产人员正常生产，以保证生产产品品质，合用于PTH手动或自动线操作。二、工艺流程三、PTH线设备规格表缸号工序材料搅拌水过滤发热器备注1整孔除油P.P\SS316M&TDISS316\P.PSSV&T2、3水洗P.PM&ACW---4微蚀P.PM&ACW\DIP.PQTZC5、6水洗P.PM&ACW---7酸洗P.PMCW\DI---8、9水洗P.PM&ACW---10预浸P.PMDIP.P--11活化P.PMDIP.PQTZV&T12、13水洗P.PMCW\DI---14加速P.PMDIP.P-V&T15、16水洗P.PM&ACW\DI---17化铜P.PM&ADIP.PTF\SSC&V&T17化铜P.PM&ADIP.PTF\SSC&V&T18、19水洗P.PM&ACW---备注：SS：不锈钢QTZ：石英P.P：聚丙烯T：气缸振荡M：机械摇晃A：打气V：电振荡器TF：铁氟龙C：冷却四、PTH自动线程序图及各缸时间范畴序号缸名称序号浸泡时间范围滴水时间范围1上/下架1-2水洗21-2min3水洗31-2min4沉铜412-18min10-20Sec5沉铜512-18min10-20Sec6沉铜612-18min10-20Sec7沉铜712-18min10-20Sec8水洗81-1.5min9水洗91-1.5min10加速102-4min10-20Sec11水洗111-1.5min12水洗121-1.5min13活化135-8min15-20Sec14预浸140.5-2min15-20Sec15水洗151-1.5min16水洗161-1.5min17酸洗171-3min5-10Sec18水洗181-1.5min19水洗191-1.5min20微蚀201-2min10-15Sec21水洗211-3min22水洗221-3min23除油235-8min10-20Sec注：滴水时间栏空白无规定各厂依照实际状况可作恰当调节五、操作程序5.1开缸程序5.1.1前期准备A、清洗缸体：新线开缸前须用3-5%NaOH溶液泡缸12小时，用清水清洗干净后，再用3-5%HSO泡缸12小时，再用清水冲洗，至少2次，药水槽再用纯水清洗一次24备用。旧线视缸体清洁度，可考虑不用酸碱泡，但缸体须用清水洗净，药水缸须用纯水清洗；B、测量：测量缸内壁长、宽、高，计算出缸体积，计算办法：V体=长×宽×高（药水液位高度）；C、检查生产辅料（例如，HSO与否浑浊等）。245.1.2开缸5.1.2.1整孔除油缸：A、加入DI水至2/3体积；B、加入整孔剂DS-122(10%)；C、补充DI水至液位；D、打开加热，启动过滤机5.1.2.2微蚀缸：A、加入水至2/3体积，启动打气；B、加入硫酸4%（或硫酸8%，适合硫酸双氧水系列产品）；C、冷却后加入过硫酸钠80g/L；D、加水至液位，搅拌。5.1.2.3酸浸缸:A、加入DI水至2/3体积；B、加入2%（V/V）HSO；24C、加入DI水至液位，搅拌均匀。5.1.2.4预浸缸：A、加入DI水至2/3体积；B、加入预浸剂DS-133220g/L(或DS-133220g/L,AR盐酸5%，适合DS-133体系)；C、加入DI水至液位，搅溶后启动过滤泵。5.1.2.5活化缸：A、加入DI水至2/3体积；B、加入预浸盐DS-133220g/L，AR盐酸5%。C、加入DI水至液位，搅溶后启动过滤泵；D、加入活化剂DS-1402%；E、打开加热器循环。5.1.2.6加速缸：A、加入DI水至2/3体积；B、加DS-15510%；C、加入DI水至液位；D、打开过滤泵。5.1.2.7沉铜缸：A、加入DI水至2/3体积；B、启动打气，加入沉铜液DS-166M5%；C、缓慢加入DS-166A7%；D、缓慢加入DS-166B7%；E、补充DI水至液位，启动过滤。5.2工艺控制5.2.1整孔除油A、工艺参数a、温度60-70℃b、时间5-8minc、过滤持续过滤d、摇晃持续B、控制a、碱度控制在0.09-0.15N；b、每生产100m2板补加1-1.5LDS-122；c、每班分析一次，依化验成果调节维护。C、更换a、每升工作液解决30-35m2板或铜含量不不大于1g/L时换缸；b、每次所有排净旧液，洗净缸体后，重新开缸。5.2.2微蚀A、工艺参数a、温度25-35℃b、时间1-2minc、浓度NaSO22860-100g/LHSO3-5%24d、过滤持续过滤f、打气过硫酸钠体系开打气，双氧水体系不必打气。B、控制a、每生产100m2添加NaSO5KG，硫酸2L；228b、每班分析一次，微蚀速率控制在0.6-1.0um/mm；C、更换a、铜含量不不大于25g/L时更换；b、更换时保管1/6左右旧槽液，再加入1/2体积纯水，然后加入4%硫酸及80g/LNaSO,用纯水补充至液位。2285.2.3酸浸缸A、工艺参数a、温度室温（20-30℃）b、时间1-3minc、摇晃持续B、控制a、HSO浓度控制在1-3%；24b、每班分析一次，按分析成果补加。C、更换与微蚀缸同步更换。5.2.4预浸A、工艺参数a、温度室温（18-30℃）b、时间0.5-2minc、过滤持续过滤d、摇晃持续。B、控制a、比重控制在1.116-1.142SG,每添加165g/LDS-133可升高比重0.01SG(或补加165g/LDS-133可升高比重0.01SG，8.3ml/L盐酸可提高酸度0.1N,此适合DS-133体系)；b、每生产100m2板补加2.5KGDS-133、0.5L盐酸。C、更换a、每升槽液生产30m2时更换；b、或溶液转变成蓝色或绿色时更换。5.2.5活化A、工艺参数a、温度35-44℃b、时间5-8minc、搅拌摇晃或过滤循环d、加热器石英或铁氟龙e、过滤定期过滤B、控制a、每生产100m2补加DS-1400.6L；b、比重控制在1.116-1.142SG，比色控制在60-90%。C、更换a、每升槽液生产600m2时换缸；b、铁含量高于150ppm时更换；c、换时排除所有旧液，再用稀盐酸泡洗槽壁，以清水洗净后用纯水清洗，重新开缸。5.2.6加速A、工艺参数a、温度酸性室温（20-30℃）b、时间2-4minc、搅拌摇晃或过滤循环d、过滤持续过滤B、控制a、酸性控制到0.2-0.4N；b、每生产1000ft相对补加DS-1551.5L。C、更换a、每升槽液生产20-30m2时更换；b、当溶液变混浊时；c、更换时所有排除旧液，洗净槽液重新更换。5.2.7化学铜A、工艺参数a、温度25-30℃b、时间12-18minc、沉积速率1.6-25微英寸/分钟d、过滤持续过滤e、搅拌空气及机械搅拌f、操作容量（负载）0.15-0.25ft2/LB、控制a、浓度控制Cu2+1.5-2.5g/LNaOH11-13g/LHCHO6-8g/Lb、浓度控制在正常范畴之内补加量计算办法：DS-166A(L)=（CU2+标准值-分析值）×V槽体30DS-166B(L)=甲醛(L)=液碱(L)=（NaOH标准值-分析值）×V槽体180（甲醛标准值-分析值-补加166A升高值）×V槽体370（甲醛标准值-分析值-补加166B升高值）×V槽体2001.每生产6-8m2板添加DS-166A、B各1L；2.每星期更换一次过滤棉芯，更换时用稀硫酸浸洗新滤芯，用DI水洗净，放入滤槽中使用；3.每周倒一次槽，并将槽内壁沉积铜消除，办法：抽入废微蚀液或加入一定量HSO、NaSO并加水至液位并启动打气；242284.每班分析3次，即4小时分析一次。C、更换a、每升槽液生产30-40m2或药水添加量达50MTO时换缸；b、更换时将槽液所有排放，消除缸内壁沉积铜，洗净后重新配。5.3生产控制与维护5.3.1新开缸药水须化验分析，保证浓度正常范畴，检查各药水缸温度应达到正常范畴；5.3.2取三架裸基材板依沉铜线正常程序拖缸。每架双面累积应达沉铜缸最佳负载，即0.2ft2/L；5.3.3紧接拖缸板后做一架生产板，抽取生产板背光，规定：双面板8.5级以上，多层板8.0级以上（详见背光级别表）。正常后批量生产，并持续生产，并持续跟进至少3缸板。5.3.4生产过程中须做好生产记录，药水补加尽量少量多次，以保持各药水缸浓度平衡，前解决各缸药水每生产100m2补加一次，化铜缸视生产板而定，每架板至少6m2时，累积6m2补加166A、B液各1L,每架不不大于6m2时，生产一架添加一次。添加量计算：添加量（L）=累积生产面积m2/6m2；5.3.5每次开拉前须检查设备运营状况，待温度升到正常管控规定，化验分析调节各药水缸浓度后，拖缸做板，环节同5.3.2、5.3.3；5.3.6无化验室厂家，每次开拉前，沉铜缸须补加DS-166A、B各15ml/L，停产12小时以上，还须补加至少5ml/L甲醛（37%）。5.4PTH线停产解决办法：5.4.1停产前沉铜少添加一次药水；5.4.2关掉所有药水缸中加热器；5.4.3关掉水洗缸入水阀及打气阀；5.4.4保持沉铜缸有打气及过滤；5.4.5保持活化缸有循环；5.4.6长时间停产或放假，须将药水缸盖好，特别是活化槽。5.5PTH线停电及机械故障解决办法：5.5.1当遇停电或机械故障时把正浸在药水槽中板取出水洗待重做；5.5.2当遇停电机械故障不超过10分钟，浸在水洗缸中板可正常往后生产如若否则须取出重做；5.5.3在沉铜缸内板可继续沉铜至足够时间，然后取出至板电；5.5.4停电时间超过4小时，须用纯水酸制，用AR级硫酸中和沉铜缸中NaOH，用量约为7ml/L（AR级硫酸）；5.5.5返工板程序:微蚀→水洗→磨板→PTH工序5.6沉铜效果检测：5.6.1背光检测：每生产四小时检测一次，详细见背光对照表；5.6.2孔铜附着力检测：沉铜板做到成品后，进行热冲击实验，孔铜不脱离为OK。六、PTH线常用问题及解决（常见可能原因问题a.生产线或药液中有漏电现象背b.基材不同，去钻污过强（多层板）不c.中和不充分，残留锰残渣（多层不板）良d.孔壁裂纹或内层间分层孔e.孔壁粗糙度过大内无f.药液组份失调铜）g.生产条件不够h.孔内钻污，钻屑a.板面有油污或胶迹b.除油后水洗不充分，表面残留表面活性剂c.微蚀不充分或板面残有异物板面d.活化性能恶化，在铜箔表面发生置起换反应泡e.加速液老化或加速过度f.沉铜速率过快g.沉铜架材质有问题，生产时易污染板面缸a.缸壁和缸底表面粗糙壁和b.沉铜液温度过高，反应过快缸底沉c.没有打气积铜d.催化剂带入纠正方法用万用表或感应电笔检测并排除降低除胶渣温度和除胶速率检查中和生产条件是否足够检查钻咀和钻孔条件，层压条件检查钻咀和钻孔条件调整各药液组份至正常工艺范围之内将生产条件调至正常工艺范围检查钻咀和钻孔条件检查钻孔时是否有漏油或胶带有掉胶现象加强水洗加强微蚀条件和原料控制检查活化缸污染情况，严重时以防更换检查污染情况和生产条件，严重时以更换调整沉铜速率，检查生产条件更换沉铜架表面处理或更换缸体降低操作温度和沉积速率保持连续打气调整催化剂后水洗、加速七、背光级数表