ESD培训

ESD讨论会ESD讨论会北京金发鑫达全体人员2011年ESD讨论会讨论内容什么是ESD静电基础知识公司ESD防护的介绍ESD体系对员工的要求ESD讨论会什么是ESDElectroStaticDischarge(静电放电)或ElectroStaticDissipative(静电释放)ESD讨论会ESD现象◆严寒的冬天，当您脱下暖和的毛衣，您会听到啪啪声◆握手或手接触时常被电击一下，是由于人身带了静电，接触时突然放电所致◆云层相互摩擦而带大量的电荷，相互放电形成能量巨大的雷电，对地放电则可能形成雷击这些就是静电瞬间放电(ESD)所主导产生的现象ESD讨论会培训内容什么是ESD静电基础知识公司ESD防护的介绍ESD体系对员工的要求ESD讨论会静电基础知识什么是静电静电产生的途径静电产生的原理静电对半导体器件的危害静电防护的基础知识ESD讨论会什么是静电以及静电产生的途径物质由分子和原子组成，原子由原子核和电子组成，原子核带正电，电子带负电。自然条件下,正负电荷平衡,物体不带电.这类物体叫电中性物体.在某种条件下,正负电荷的平衡被打破,则物体带电—这种现象叫物体带电.所谓静电指对观察者而言,电荷静止不动或运动非常缓慢，动电则有电荷的快速运动和变化.ESD讨论会静电产生分离摩擦静电的产生的原理ESD讨论会静电产生原理——分离、摩擦起电的过程ESD讨论会静电产生原理——分离、摩擦起电的过程ESD讨论会静电产生的原理——人体带电研究摩擦起电:操作中的动作和肢体运动，由于衣服、鞋子与其他物体、地面摩擦，使衣服和鞋子带电，再通过传导和感应，使人体带电。感应起电:当不带电的人体进入带电的电场，静电感应而起电。传导起电:人体直接接触带电体,或与带电体发生静电放电，另人体在静电的微尘粉体和雾状液粒空间活动，使带电微粒附在人体及衣服上产生静电.ESD讨论会我们在经受3000伏的静电电压!!静电产生的原理——人体带电研究ESD讨论会半导体的抗静电能力——电子元器件静电损伤的典型电压阀值大体而言只要100V以上的静电压就可以对半导体产生伤害，故ESD之防护工作，我们不可不慎。ESD讨论会•损伤具有隐蔽性•人体带电是电子产品静电损伤主因，几KV的人体静电，对人而言放电感受几乎没有，对元器件却是致命的.•失效分析的复杂性:•电子产品有精，细，小的特点，失效分析相当难，静电损伤易于同其它损伤混淆。半导体的抗静电能力——电子产品静电损伤的特点ESD讨论会半导体的抗静电能力——电子产品静电损伤的特点•损伤具有潜在性:有些元器件在损伤后并不马上表现出來，只是性能下降，并不马上失效。•损伤的随机性:只要电压超过或接近静电敏感电压阀值，就可能发生静电损，在生产的各个环节，包括成品运输等都可能产生ESD损伤。ESD讨论会A突发性完全失效自身短路.开路,功能丧失,参数变异.电压相关失效:介质击穿,PN节反向漏电.功率相关失效:金属等烧断,硅片局部区域融化,PN节边缘损伤等,这类失效占静损伤的10%.半导体的抗静电能力——电子产品静电损伤的形态ESD讨论会B.潜在性缓慢失效带电体电位或能量较低,一次放电没有完全损伤失效,使器件內部轻度损伤,但有累计效应,使器件性能变坏,可能突然失效,难以检测和筛选,造成产品品质发生信赖性问题.半导体的抗静电能力——电子产品静电损伤的形态ESD讨论会半导体的抗静电能力——电子产品静电损伤的形态•静电的累积破坏–负伤而行负伤而行–––许多实验证实静电能使半导体负伤，但不致立即完全破坏其功能，而且有多数这些『负伤而行』的元件都能通过测试直到这些元件送到客户之后，随时会从『负伤而行』变成完全失效。ESD讨论会静电防护——静电防护的基本原则（治标方法）◆1.避免静电产生a)潮湿法b)抗静电涂布法c)內部静电剂法◆2.疏导或中和所产生之静电a)疏导法(典型方法是配戴静电环)b)中和法◆3.屏蔽静电场ESD讨论会1.静电环–由伸缩拉环，內含1MegaΩ±10%电阻之导线及接头所够成。佩戴静电环时必须注意到：(a)静电环必须与手紧密接触，不可松脱或套于衣袖上(b)与接地之间必须保持1MΩ±10%之电阻(c)接头必须固定妥当，当接头未接地妥当时，不得碰触材料(d)静电环中接1MΩ电阻，其目的是保护人员工作之安全。静电防护——常用静电防护材料及使用方法ESD讨论会2.抗静电材料(袋、管、框、盒等)–在材料上涂布抗静电液，使材料不会产生静电荷，或仅产生微量的静电荷(通常在100V以下)。此类材料表面电阻要求在1012Ω/square以下，静电消散时间2sec。使用此材料应：(a)此材料仅能防止本身产生静电，而却无法防止静电场破坏(b)表面涂层必須考虑其有效期(c)一般工业界会将此类产品制成粉红色静电防护——常用静电防护材料及使用方法ESD讨论会3.静电遮蔽材料(袋、管、管塞、盒等)–此种材料一般含有二或三层，上下(或外)层是抗张力强的抗静电化学合成物质(R1012Ω/square，静电消散时间2sec)，中间(或內)层是一层薄薄的金属箔(R103Ω/square)。使用时需注意：(a)避免使用尖锐物品刮坏金属层(b)封闭的导电袋或容器才有完全之保护静电防护——常用静电防护材料及使用方法ESD讨论会静电防护——常用静电防护材料及使用方法4.防静电工作桌1.人体2.静电环3.防静电桌面4.仪器5.静电鞋6.导电地板ESD讨论会培训内容什么是ESD静电基础知识公司ESD防护的介绍ESD体系对员工的要求ESD讨论会公司ESD防护的介绍防静电敏感区域的界定防静电工程的设计原则防静电硬件配备ESD讨论会防静电敏感区域的界定1）ESD敏感器件的检验区域------待检及检验区域2）ESD敏感器件的生产区域------生产线等3）ESD敏感器件的前加工区域4）ESD敏感器件的贮存区域------库房和在线库。5）ESD敏感器件的返修区域------返修区及返修工位。6）成品库房。7）开发部和产品部测试、加工区（除基本配置外，环境要求一般暂不包括本区域）。ESD讨论会防静电工程环境的设计原则设计防静电工程环境时,为达到静电防护的要求应遵循以下原则:1）抑制静电荷的积累和静电压的产生2）安全、迅速、有效的消除已产生的静电荷ESD讨论会防静电硬件配备防静电区域应标明区域界限并在明显处悬挂警示标志。各区域入门处配有防静电门帘。静电敏感原材料库房温度要求为20℃～26℃，湿度要求为40%～70%RH；其他区域温度18℃～30℃，湿度40%～80%RH。环境温度的保证主要靠空调和暖气；湿度必要时允许采用加湿器，但不得对产品形成潮湿危害。ESD讨论会防静电硬件配备各区域配置温湿度表对环境进行监控。各区域铺防静电地板，墙面采用石膏涂料或石灰涂料墙面。各区域工作台配防静电胶垫，防静电椅等。货架等存放架无论何用途均配防静电胶垫各工序操作人员配防静电腕带、防静电鞋，防静电衣，女工配防静电帽。相关工序配防静电手套、指套等，并在必要时在防静电区域入口处配备适量的防静电鞋套等供客人等使用。ESD讨论会防静电硬件配备在静电敏感区域入口处配腕带和防静电鞋测试仪器。本公司产品的流转无论是否为静电敏感器件均采用防静电周转箱。运输小车铺设防静电胶垫，小车通过金属链条与地板形成接地系统。配备静电电压表、绝缘电阻测试仪和万用表等对系统定期校验。敏感器件库房配备离子风机。ESD讨论会图5-1图5-3黄黑相间的斜条纹静电敏感区域警示标志图5-2防静电标志从静电敏感区域的入口处开始，在明显处还应贴上静电敏感区的警示标志,该标志应符合GJB1649-93的规定。如左图。防静电容器(防静电周转箱,防静电元件盒等)，元件架和运输车等器材上应有防静电标志，标志应置于明显且不易受到磨损的地方。如中图经过防静电液处理的物品和场所也应有防静电标志。如右图。ESD讨论会培训内容什么是ESD静电基础知识公司ESD防护的介绍ESD体系对员工的要求ESD讨论会影响ESD体系实施最关键的是人，再优越的硬件环境如果没有人员的主动遵守和维护，也可能造成静电伤害，大大影响静电防护效果。ESD讨论会职责各区域负责人负责监控所辖区域静电防护设施的运行状态，负责管理监督下属日常行为与操作规范的符合性，负责实施相关培训。各岗位负责操作规范要求的执行。ESD讨论会静电区域工作人员防静电着装防静电衣：防静电衣必须在更衣室更换,不允许在ESD区域穿或脱防静电衣。禁止在防静电衣上附加或佩带与工作无关的金属物品或装饰品。不能把非防静电衣的衣领翻出盖住防静电衣的衣领，防静电衣的拉链拉满后，须将上下两颗扣子均扣好。非防静电衣的长度不能长过静电衣，不准将防静电衣的袖子挽起不准将手表、手饰等与工作无关的装饰物品露出防静电衣外。防静电衣应保持清洁,工作服的洗涤应尽量采用简易方法进行,要避免受到较强的机械和化学操作的洗涤。ESD讨论会静电区域工作人员人员防静电着装防静电帽：防静电帽应正确佩戴，帽沿朝前头发不能露出防静电帽外，后脑部分的短细的头发不能超过防静电衣领外。ESD讨论会静电区域工作人员人员防静电着装防静电工作鞋：作业人员必须穿防静电鞋方可进入静电敏感区域工作。穿防静电鞋时不得穿袜子，不得另加鞋垫（天气寒冷时允许采用纯棉材料的鞋垫和袜子），特别是绝缘性鞋垫不得在鞋底粘贴绝缘胶片或其它涂料。离开防静电区域要换鞋。ESD讨论会静电区域工作人员人员防静电着装防静电手套或指套：在对静电敏感的工位，如MOS管等敏感器件的装配工位，操作员工应戴上防静电手套或指套，防静电手套或指套兼具防腐蚀的功能。在不便使用有绳防静电腕带的岗位，如流动操作岗位，须使用防静电手套。定期更换破旧和脏的防静电手套和指套。ESD讨论会ESD讨论会ESD讨论会静电区域工作人员人员防静电着装防静电腕带：通过腕带与皮肤的直接接触和静电线接地的方式，将人体皮肤表面静电泄放掉装置，因无绳防静电腕带的性能对环境湿度依赖性太强，禁止使用无绳腕带。每班开工前，每位员工都应自检防静电环是否正常，并作好记录，只有测试合格，才可以进入静电敏感区域工作。各线主管应确保本线员工在需要的岗位都正确佩戴好静电环，不能松脱，更不能戴在袜子或袖子上。先戴好防静电环，再拿静电敏感器件,先放下静电敏感器件，再摘掉防静电环。在实际工作中要注意此顺序，要养成这种好习惯。ESD讨论会其他人员进入防静电区域要求非静电区域工作人员以及外来人员（参观人员、送货人员、维修人员、施工人员等）进入防静电区域时,必须遵守防静电区域和生产过程的各项防静电要求。必须穿防静电鞋或者穿防静电鞋套方可进入防静电区域；不得靠近操作静电敏感器件的工作人员,也不得靠近或徒手接触含有静电敏感器件的在制品或成品。如果要接触在制品和成品时，要佩戴有线的防静电腕带或者佩戴防静电手套。ESD讨论会其他人员进入防静电区域要求临时施工作业在正常生产时间内要避免瞬时高压、瞬时放电的操作(如电焊、启动电机、开关高压电源等)或事前采取防范措施,或安排在非生产时间内施工作业。防静电区域内需要进行某种维护、修理作业时,维护人员应携带并使用防静电维修包,并遵守防静电区域的有关规定。ESD讨论会希望我们大家严格按照ESD防护的要求，对自己的着装和行为进行规范，并养成良好的静电防护习惯，使ESD防护能够顺畅地运行，确保公司ESD防护有效实施。ESD讨论会谢谢大家!