ESD知识培训教材

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静电防护知识培训静电防护知识培训静电防护知识培训静电防护知识培训备备备备稿稿稿稿::::柳福明柳福明柳福明柳福明2006/09/02培训对象培训对象培训对象培训对象1、、、、ME或测试工程师或测试工程师或测试工程师或测试工程师2、、、、LQC3、、、、拉长和助拉拉长和助拉拉长和助拉拉长和助拉4、、、、机修机修机修机修课程概要课程概要课程概要课程概要静电产生原理及方式静电产生原理及方式静电产生原理及方式静电产生原理及方式静电术语静电术语静电术语静电术语静电对电子生产制造业的不良影响静电对电子生产制造业的不良影响静电对电子生产制造业的不良影响静电对电子生产制造业的不良影响静电防护原理静电防护原理静电防护原理静电防护原理电子生产使用环境中的防静电系统构成电子生产使用环境中的防静电系统构成电子生产使用环境中的防静电系统构成电子生产使用环境中的防静电系统构成防静电检测防静电检测防静电检测防静电检测第第第第1节节节节、、、、静电产生的原理及方式静电产生的原理及方式静电产生的原理及方式静电产生的原理及方式产生产生产生产生原理原理原理原理::::电荷的转移电荷的转移电荷的转移电荷的转移。。。。产生方式产生方式产生方式产生方式::::1.摩擦摩擦摩擦摩擦((((不同物质的接触和分离不同物质的接触和分离不同物质的接触和分离不同物质的接触和分离))))2.静电感应静电感应静电感应静电感应3.电效应电效应电效应电效应其它如其它如其它如其它如::::热电和压电起电热电和压电起电热电和压电起电热电和压电起电、、、、极化起电极化起电极化起电极化起电、、、、亥姆霍兹层亥姆霍兹层亥姆霍兹层亥姆霍兹层、、、、喷射起电等喷射起电等喷射起电等喷射起电等.摩擦起电序列摩擦起电序列摩擦起电序列摩擦起电序列::::第第第第2节节节节、、、、静电术语静电术语静电术语静电术语1.静电静电静电静电::::物体表面过剩或不足的静止的电荷。2.静电场静电场静电场静电场::::静电在其周围形成的电场。3.静电感应静电感应静电感应静电感应::::在静电场影响下引起物体(导体)上电荷重新分面的现象。4.静电敏感度静电敏感度静电敏感度静电敏感度::::元器件所能承受的静电放电电压。5.静电敏感器件静电敏感器件静电敏感器件静电敏感器件::::对静电放电敏感的器件。6.静电中和静电中和静电中和静电中和::::利用异性电荷使静电消失。7.静电放电静电放电静电放电静电放电::::当带电体周围的场强超过周围介质的绝缘击穿场强时,因介质产生电离而使带电体上的电荷部分或全部消失的现象就是静电放电。8.接地接地接地接地::::电气连接到能供给或接受大量电荷的物体,如大地,船等.9.表面电阻表面电阻表面电阻表面电阻((((率率率率):):):):在给定的通电时间后,施加于材料表面的直流电压和电流的比值。10.体积电阻体积电阻体积电阻体积电阻((((率率率率):):):):在给定的通电时间后,施加于一块材料相对二个表面的直流电压和电流的比值。11.静电屏蔽静电屏蔽静电屏蔽静电屏蔽::::利用金属空腔隔离静电场影响的措施。12.静电泄露静电泄露静电泄露静电泄露::::带电体上的电荷通过带电体内部或其表面等途径而使之部分或全部消失的现象。13.摩擦起电摩擦起电摩擦起电摩擦起电::::用摩擦的方法使两物体分别带有等值异号电荷的过程。14.防静电工作区防静电工作区防静电工作区防静电工作区::::配备各种防静电设备和器材,能限制静电电位,具有明确的区域界限和专门标记的适于从事静电防护操作的工作场地。第第第第3节节节节、、、、静电对电子生产制造业的不静电对电子生产制造业的不静电对电子生产制造业的不静电对电子生产制造业的不良影响良影响良影响良影响1))))静电有三种方式对电子工业危害最大静电有三种方式对电子工业危害最大静电有三种方式对电子工业危害最大静电有三种方式对电子工业危害最大::::((((1)、)、)、)、电场力电场力电场力电场力静电会形成静电场而有电场力静电会形成静电场而有电场力静电会形成静电场而有电场力静电会形成静电场而有电场力,,,,同性相斥同性相斥同性相斥同性相斥,,,,异性异性异性异性相吸相吸相吸相吸。。。。由于有电场力的存在由于有电场力的存在由于有电场力的存在由于有电场力的存在,,,,会将空气的尘埃吸附在芯会将空气的尘埃吸附在芯会将空气的尘埃吸附在芯会将空气的尘埃吸附在芯片上片上片上片上,,,,造成芯线的绝缘强度降低造成芯线的绝缘强度降低造成芯线的绝缘强度降低造成芯线的绝缘强度降低,,,,造成短路使芯造成短路使芯造成短路使芯造成短路使芯片损坏片损坏片损坏片损坏。。。。•由于静电放电时有较高的电压由于静电放电时有较高的电压由于静电放电时有较高的电压由于静电放电时有较高的电压,,,,可将集可将集可将集可将集成电路芯片介质击穿成电路芯片介质击穿成电路芯片介质击穿成电路芯片介质击穿,,,,芯线熔断芯线熔断芯线熔断芯线熔断,,,,漏电漏电漏电漏电流增大加速老化流增大加速老化流增大加速老化流增大加速老化,,,,电性能改变等电性能改变等电性能改变等电性能改变等。。。。静电放电对芯片损坏具有潜在的和缓慢静电放电对芯片损坏具有潜在的和缓慢静电放电对芯片损坏具有潜在的和缓慢静电放电对芯片损坏具有潜在的和缓慢失效性失效性失效性失效性,,,,这种情况危害性更大这种情况危害性更大这种情况危害性更大这种情况危害性更大。。。。((((2)))).静电放电静电放电静电放电静电放电((((ESD):):):):((((3)))).静电感应静电感应静电感应静电感应::::•导体放在静电场时会感应出正负静电导体放在静电场时会感应出正负静电导体放在静电场时会感应出正负静电导体放在静电场时会感应出正负静电荷荷荷荷,,,,其感应放电产生的宽频带干扰可对其感应放电产生的宽频带干扰可对其感应放电产生的宽频带干扰可对其感应放电产生的宽频带干扰可对计算机和低电平数字电路发生翻转效应计算机和低电平数字电路发生翻转效应计算机和低电平数字电路发生翻转效应计算机和低电平数字电路发生翻转效应或导致仪器或导致仪器或导致仪器或导致仪器((((表表表表))))运行失常运行失常运行失常运行失常((((见下图见下图见下图见下图)。)。)。)。2)))).静电放电敏感器件静电放电敏感器件静电放电敏感器件静电放电敏感器件((((共共共共1、、、、2、、、、3级级级级))))3)))).电子生产使用环境中的静电源电子生产使用环境中的静电源电子生产使用环境中的静电源电子生产使用环境中的静电源几乎所有的物体都会通过各种方式产生几乎所有的物体都会通过各种方式产生几乎所有的物体都会通过各种方式产生几乎所有的物体都会通过各种方式产生静电静电静电静电,以下是在车间常见的静电源以下是在车间常见的静电源以下是在车间常见的静电源以下是在车间常见的静电源:第第第第4节节节节、、、、静电的防护原理静电的防护原理静电的防护原理静电的防护原理1、、、、静电防护的基本原则静电防护的基本原则静电防护的基本原则静电防护的基本原则:a、、、、抑制静电荷的积聚抑制静电荷的积聚抑制静电荷的积聚抑制静电荷的积聚;;;;b、、、、迅速迅速迅速迅速、、、、安全安全安全安全、、、、有效地消除已经产生的静有效地消除已经产生的静有效地消除已经产生的静有效地消除已经产生的静电荷电荷电荷电荷。。。。1)、)、)、)、静电耗散与接地静电耗散与接地静电耗散与接地静电耗散与接地是指通过替换电子生产过程中接触到的是指通过替换电子生产过程中接触到的是指通过替换电子生产过程中接触到的是指通过替换电子生产过程中接触到的各类绝缘物制备的用具而改用防静电材各类绝缘物制备的用具而改用防静电材各类绝缘物制备的用具而改用防静电材各类绝缘物制备的用具而改用防静电材料制备并使之接地来完成料制备并使之接地来完成料制备并使之接地来完成料制备并使之接地来完成。。。。1、、、、静电防护措施静电防护措施静电防护措施静电防护措施防静电材料防静电材料防静电材料防静电材料防静电材料又叫防静电材料又叫防静电材料又叫防静电材料又叫ESD防护材料防护材料防护材料防护材料,,,,可分为三类可分为三类可分为三类可分为三类::::(1)导静电材料导静电材料导静电材料导静电材料::::表面电阻、体积电阻等于或低于1x106欧,用于没有强电的情况。(2)静电耗散材料静电耗散材料静电耗散材料静电耗散材料::::表面电阻、体积电阻在1x106欧~1x109欧范围,使用在工作环境中有220V,380V交流强电或直流强电的场合,能为操作人员提供安全保护。(3)静电屏蔽耗散复合类静电屏蔽耗散复合类静电屏蔽耗散复合类静电屏蔽耗散复合类::::使用静电耗散材料屏蔽并接地。用于各种包装,运输或有电磁场的环境中。2)、)、)、)、静电中和静电中和静电中和静电中和其原理是将正负离子与静电源上的正负电荷中和,从而消除电源上的积累的静电。通常用于消除某些高绝缘且易产生静电的用品存放在工作台或工艺上。静电中和是借助离子静电消除器或感应式静电刷来实现的。离子消除器具有不影响产品质量,消除静电快,使用方便等特点,只是仪器成本较高。3)、)、)、)、静电屏蔽与接地静电屏蔽与接地静电屏蔽与接地静电屏蔽与接地静电屏幕及接地通常用于对高压电源产生的静静电屏幕及接地通常用于对高压电源产生的静静电屏幕及接地通常用于对高压电源产生的静静电屏幕及接地通常用于对高压电源产生的静电场屏蔽电场屏蔽电场屏蔽电场屏蔽,,,,某些对静电极敏感电路物屏蔽某些对静电极敏感电路物屏蔽某些对静电极敏感电路物屏蔽某些对静电极敏感电路物屏蔽,,,,从从从从而避免静电场对而避免静电场对而避免静电场对而避免静电场对ESDS器件和器件和器件和器件和ESDS组件的感应组件的感应组件的感应组件的感应和静电放产生的宽频干扰和静电放产生的宽频干扰和静电放产生的宽频干扰和静电放产生的宽频干扰。。。。屏蔽的作用是通过将一个区域封闭起来的壳体屏蔽的作用是通过将一个区域封闭起来的壳体屏蔽的作用是通过将一个区域封闭起来的壳体屏蔽的作用是通过将一个区域封闭起来的壳体实现的实现的实现的实现的,,,,屏蔽的效果屏蔽的效果屏蔽的效果屏蔽的效果,,,,不仅与屏蔽的材料和性能有不仅与屏蔽的材料和性能有不仅与屏蔽的材料和性能有不仅与屏蔽的材料和性能有关关关关,,,,也与屏蔽体与静电源距离也与屏蔽体与静电源距离也与屏蔽体与静电源距离也与屏蔽体与静电源距离,,,,以及壳体以及壳体以及壳体以及壳体上可能存在的各种不连续的孔洞和数量有上可能存在的各种不连续的孔洞和数量有上可能存在的各种不连续的孔洞和数量有上可能存在的各种不连续的孔洞和数量有关关关关。。。。静电屏蔽的效果与接地有很大关系静电屏蔽的效果与接地有很大关系静电屏蔽的效果与接地有很大关系静电屏蔽的效果与接地有很大关系,,,,只有将只有将只有将只有将屏蔽接地屏蔽接地屏蔽接地屏蔽接地,,,,才能保证屏蔽上的感应的静电才能保证屏蔽上的感应的静电才能保证屏蔽上的感应的静电才能保证屏蔽上的感应的静电荷泄露荷泄露荷泄露荷泄露,,,,使屏蔽体内的电路不受静电场干使屏蔽体内的电路不受静电场干使屏蔽体内的电路不受静电场干使屏蔽体内的电路不受静电场干扰扰扰扰。。。。通常用于仪表电路和静电源防静电干扰的重通常用于仪表电路和静电源防静电干扰的重通常用于仪表电路和静电源防静电干扰的重通常用于仪表电路和静电源防静电干扰的重要措施之一要措施之一要措施之一要措施之一。。。。4)、)、)、)、增湿增湿增湿增湿湿度增加则非导体材料的表面电导率增加湿度增加则非导体材料的表面电导率增加湿度增加则非导体材料的表面电导率增加湿度增加则非导体材料的表面电导率增加,,,,使物使物使物使物体积蓄的静电荷可以更快泄露体积蓄的静电荷可以更快泄露体积蓄的静电荷可以更快泄露体积蓄的静电荷可以更快泄露。。。。对于表面容易形成水膜对于表面容易形成水膜对于表面容易形成水膜对于表面容易形成水膜,,,,既然容易被水润湿的绝既然容易被水润湿的绝既然容易被水润湿的绝既然容易被水润湿的绝缘体

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