真空计培训资料

真空测量仪器培训2培训目的：了解常用规管的工作原理知道如何选择合适的规管真空规管的故障诊断真空规管的清洗维护真空规管的调整校准备件订购3内容皮拉尼规(PSGandPCG)熱电离规(BPG400,BCG450,HPG400)冷电离规(PEG)显示器（VGC40X）皮拉尼规PSG皮拉尼规型号：PSG400/SPSG050PSG500PSG100/101PCG400（复合规）35皮拉尼规管工作原理皮拉尼:热丝的能量损失与热丝周围的气体浓度及气体成分成比例关系.6皮拉尼规管工作原理Heattransportthroughthegas:Pressure-dependent(Howmany)Gas-type-dependent(size)Heattransportthroughthegas:Pressure-dependent(Howmany)7皮拉尼规管工作原理气体的热传导，与下列提条件有关:气体类型压力大小皮拉尼规PSG---电气连接电气连接口FCC68接线:针1电源14~32V针2电源地针3测量信号输出针5信号地针6,8触点输出7皮拉尼规PSG---信号输出1输出电压范围:0-10.0V；2测量信号范围：1.9-10.0V；3灯丝故障：0.5V；4输出电压与压力的关系式:(对数输出1.286V/量级)P=100.778(U-C)P:实际压力;U:输出电压;C:常数(mbar:6.143;Torr:6.304;Pa:3.572)例如:某规管测量的输出信号为6.14V那么实际压力为P=100.778(6.14-6.143)=1.0mbar9皮拉尼规PSG---维护1.清洗规管灯丝部分可清洗清洗步骤:1移开灯丝部分的挡板2加入酒精,浸泡5分钟3倒出酒精,放至干燥4安装挡板5连接开机调整零点10皮拉尼规PSG---维护规管调整调满量程Atm调零HV调整方法:1安装规管成正常使用状态2排空至压力10-4mbar3调整电位器HV,使规管输出5X10-4mbar或1.55V4放气至大气压,等2分钟;5调整电位器Atm,使规管输出1X10+3mbar或10.00V12皮拉尼规PSG---维修常见故障:1输出信号0.5V可能原因:无电源需要调整灯丝故障2真空测量不准确可能原因:零点漂移,需调整灯丝污染,需清洗3其它故障或无法解决,请与维修部门联系1313PSG:灯丝检查51Ohm+/-5%51Ohm+/-5%PSG400(2wires)PSG100/101(1wire)PSG100:87Ohm+/-5%PSG101:50Ohm+/-5%检查灯丝阻值14PSG:污染防护带中心环的O-圈带中心环及过滤网的O-圈15PSG:备件16电离-皮拉尼复合规复合规型号：BPG400（B-A规+皮拉尼）HPG400（热规+皮拉尼）BCG450（热规+皮拉尼+薄膜规）BPG402(开发中）317熱电离规原理Richardson效应:高温灯丝发射电子，高能量电子撞击气体分子使其电离，离子流的大小与气体压力成比例关系.18电离原理电子撞击气体分子，气体分子的一个或多个电子被撞击出去，形成带正电的离子19BPG&BCG规管双皮拉尼薄膜规阴极离子收集极阳极20复合规BPG------电气连接D-Sub电气连接口电气连接：针2测量信号输出针5电源地针7除气针824V电源针1118~26V电源针12信号地针13RS232CTXD针14RS232CRXD针15接外壳接地721BPG400:电气连接注意：第五脚必须与屏蔽壳连接与地连接22复合规BPG------信号输出1输出电压范围:0-10V；2测量信号输出范围0.774—10V；3输出0.3V=热阴极故障4输出0.5V=皮拉尼故障5输出电压与压力的关系式:(对数输出)P=10(U-7.75)/0.75+CP:实际压力;U:输出电压;C:常数mbar:0pa:2Torr:-0.125例如:BPG的输出信号为4.00V,那么实际压力为P=10(4-0)/0.75+0=1x10-5mbar1023BPG400:测量2.4x10-2mbar~~1000mbar皮拉尼工作5.5x10-3mbar~~2.4x10-2mbar熱电离规与皮拉尼规共同工作5.5x10-3mbar以下熱电离规工作，皮拉尼保护3.2x10-2mbar熱电离灯丝因保护关闭24复合规BPG------维护1大气压下规管通电至少10分钟2用工具插入FULLSCALE,按下至少5秒种3规管自动完成调整满量程调整处12调满量程25复合规BPG------维护皮拉尼零点调整原理上讲，当压力低于1E-3mbar时，规管自动调整零点，调整值每六小时自动存储。1在压力《1x10-4mbar下规管通电至少10分钟2用工具插入FULLSCALE,按下至少2秒种3规管2分钟后自动完成调整调零点26BPG400:维护除气除气只能在压力低于7.2E-6mbar以下进行除气主要目的是清除灯丝污染除气时收集极温度700度,除气功率4W,16mA除气时显示值偏大除气3分钟自动结束除气可通过接口，或由连接的显示仪表激活27复合规BPG------常见故障故障信息可能原因解决方法输出信号小于0.2V或一直小于0.29V电源没有接入规管或接触不良1)关机再开机2)检查连线及电源错误代码“Error=8”“Error=9”规管灯丝损坏更换规管输出信号0.5V电子部分接触不良检查连接显示“nosignal”,电子部分工作不良1)关机再开机2)更换电子部分1428BPG400:故障诊断灯丝皮拉尼灯丝1断皮拉尼灯丝2断熱电离灯丝断短路短路短路短路短路短路29BPG400:备件BPG400规管传感器DN25KF订货号：354-490BPG400规管传感器DN40CR订货号：354-49130冷电离规---潘宁规PEG10031潘宁规原理通过气体放电方式产生电子，通过磁场使电子获得能量将气体分子电离32PEG潘宁规输出信号测量范围1E-9…1E-2mbar测量输出信号0.66–10V输出信号0–10.6V故障信号输出(无放电)0.4V正常测量时绿色指示灯亮33PEG:信号输出34PEG:电气连接FCC68接线:针1电源14~32V针2电源地针3测量信号输出针5信号地针6,8触点输出35PEG:故障诊断1。无指示灯亮：检查电连接2。”Power”灯亮，“Ready”灯不亮：A。压力过高B。压力过低《3x10-9mbarC。测量环，或阳极接触不良3。压力低于10-2mbar而输出信号一直大于10v测量环对壳短路4。规管污染，需清洗，现象：A。测量不准确，或不稳定B。测量信号停止在某特定值36PEG：清洗或更换备件工具及备件37PEG：清洗或更换备件第一步：用镊子拆下阴极片38PEG：清洗或更换备件第二步：拆下阳极环，注意：轻轻摇晃，不能过度搬动39PEG：清洗或更换备件第三步：倒出陶瓷垫40PEG：清洗或更换备件第四步：清洁部件及探头内部（用酒精，丙酮，纱布，压缩空气）41PEG：清洗或更换备件第五步：插入陶瓷片42PEG：清洗或更换备件第六步：插入阳极环43PEG：清洗或更换备件第七步：调整阳极环44PEG：清洗或更换备件第八步：装入阴极片45PEG：清洗或更换备件第九步：检漏（建议）46PEG:备件1。更换清洗套件：订货号：351-490包括阴极片（5个）陶瓷垫（5个）2。阳极环订货号：351-4993。测量头（包括磁组件）订货号：399-51047VGC40X(真空计控制器）VGC40x控制器可连接我司生产的各种型号规管；---自动识别规管A/D转换分辨率为16数据位；---最多小数点后有4位数据软件升级可通过计算机自动完成，不需更换硬件；---最大程度兼容信规管2/3通道规管可同时显示，或自动/设置关闭；有自动故障检测程序，方便故障查找；软件内容丰富，满足各种设置需要；48VGC:真空规管控制器49VGC:参数设置1。参数设置共分成4组，分别为“触点设置”，“规管设置”，“通用设置”，“测试设置”；2。不同型号的控制器显示的“触点设置”数量不同；3。触点设置可以任意设定通道50触点设置工作方式51VGC:参数设置22.规管参数(PArASEn)连接的规管不同，显示的参数设置菜单不同52VGC:规管参数设置Filt(测量信号筛选器）设置真空规控制器对讯号改变的反应快速Fast（快速）Nor（正常）Slo（慢速）53VGC:规管参数设置Gas（测量气体设定）自动补偿不同测量气体产生的偏差N2,Ar,H2,Cor(补偿系数）FS（测量范围设定）仅需对CDG设定OFS将当前测量值作为补偿值从以后的测量值中扣除dEGAS(除气）S-on(设定规管启动）设定规管工作启动条件或方式Hand（手动），Hot（自动）CH1/2/3T-on（阈值设定）与S-on连用54VGC:规管参数设置S-off(设定规管关闭）设定规管电源关闭条件或方式Hand（手动），Hot（自动）CH1/2/3T-off（阈值设定）与S-off连用55VGC:通用参数设置3.通用参数设置(PArAGEn)测量单位(unit)Pa(帕）,Torr（乇）,Mbar（毫巴）,UC(毫米汞柱)波特率(baud)RS232口的传输速率显示精度(digit)2（2.5-1，250）3（2.50-1，250），对CDG无效缺省参数(def)参数复位至出厂设置记录仪输出(Ao)设定记录仪输出的特性曲线错误信号继电器设定该继电器动作条件56VGC:参数设定44.测试参数设定(PArAtESt)软件及硬件自动检测软件版本显示(PNR)监测控制设定(dt-C)单位“乇”锁定“(tr-L)参数设置锁(LoC)RAM-测试(ra-t)EPROM-测试(EP-t)EEPROM-测试(EE-t)显示测试(di-t)数/模转换信号测试(Ad-S)RS232-测试(rs-t)57VGC:检测VGC的故障可以通过自身的检测功能查找并确认VGC402/403可通过更换方式维修VGC401无备件58维修资料如果你的真空测量仪器出现故障，需要帮助，请提供：:1.故障产品的订货号2.故障产品的出厂编号3.故障描述（越详细越好）4.联系方式5.购买日期6.污染情况报告表59VCC500:Gasdosingsystems2operatingmodespossible:1.Pressure(pressurecontrolmode)2.Flow(gasflowadjustmentmode)Pressurecontrol:A:Variablegasflow(upstreamcontrol)B:Variableconductance(downstreamcontrol)60VCC500:PressurecontrolA:Upstreamcontrol61VCC500:PressurecontrolB:Downstreamcontrol62VCC500:GasflowadjustmentmodeThegasflowsettingismadeontheVCC500andresultsinacorrespondinggasflowratethroughthecontrolvalveusedatapressuredifferenceof1bar